纯钛微细群孔的超声辅助光刻电解加工.pdfVIP

中国机械工程第 19卷第 22期 2008年 11月下半月 纯钛微细群孑L的超声辅助光刻电解加工 胡建华 汪 炜 1．淮海工学院，连云港，222005 2．南京航空航天大学，南京，210016 摘要 ：采用光刻电解技术，可以选用对环境污染影响小、成本较低的腐蚀液，实现难蚀除金属材料的 微细阵列结构加工，优于化学腐蚀方法。为克服电解过程 中局部产生的热量和析氢造成的腐蚀不均，进 行了纯钛(Ti的质量分数为99．6 )微细群孔的超声辅助光刻电解加3-试验研究。试验结果表明，超声 能显著改善极间工作液的循环，通过合理选择极间距离、电参数和声场参数等工艺条件 ，可以有效降低 表面粗糙度 ，材料蚀除速率达到30t~m／min。 关键词：钛；超声；光刻电解 ；蚀除速率；表面粗糙度 中图分类号 ：TG146．2；TB559；TG662 文章编号 ：1004--132X(2008)22—267O—O3 UltrasoundAidedThrough-- maskElectrochemicalM icromachiningofM icrO—holeArrayinTitanium HUJianhua WangWei 1．HuaihaiInstituteofTechnology，Iianyungang，Jiangsu，222005 2．NanjingUniversityofAeronauticsandAstranautics，Nanjing，210016 Abstract：Through--maskelectrochemicalmicromachiningofdifficult-- to—etchmetals(e．g．ti— tanium alloy)hasalow costandenvironmentalimpactcomparedwithphotochemicalmachiningusing toxicetchantsbasedonhydrofluoricacid．Theapplicationofultrasoundtoelectrolyticphotoetching wasstudiedinanefforttosolvetheproblem ofnon——uniform erosiondueto theheatandhydrogen producedinthemachiningprocess．Experimentsshow ultrasound can increasemasstransport，fur— thermore。itcanreducesurfaceroughnessandincreasetheetchrateoftitanium (30t~m／min)byprop— erlyselectinginterelectrodedistance，electricityparameters，soundfieldparametersaswel1． Keywords：titanium；ultrasound；electrolyticphotoetching；etchrate；surfaceroughness 0 引言 的氢氟酸、硝酸等来替代常用的三氯化铁腐蚀液 ， 对复杂平面微细结构来说 ，光化学加工 (pho— 因此其生产成本相当高，而且还存在着安全使用、 tochemicalmachining，PCM)比精密冲裁 、铣削 贮存和运输等问题l2]。 和激光加工方法具有更多优点，如成本低廉 、无残 根据法拉第定律 ，采用光刻电解加工方法 ，可 余应力以及不改变材料性质等口]。但是 ，就某些 以选用更为 “安全”的腐蚀液，实现难腐蚀金属材 难腐蚀材料 (如高温合金 、钛合金等)而言，当采用 料的加工 。然而，电解反应过程 中会产生热量和 光化学加工方法时，则必须采用具有极强腐蚀性 析氢，气泡将导致加工表面电流不均匀 ，腐蚀不均