Parylene膜的沉积聚合过程及其影响因素.pdfVIP

维普资讯 Parylene膜的沉积聚合过程及其影响因素／陈艳平等 ·367 · Parylene膜的沉积聚合过程及其影响因素 陈艳平，帅茂兵，鲜晓斌，吉祥波，唐贤臣 (表面物理与化学国家重点实验室，绵阳621907) 摘要 Parylene是一种性能优异的高分子聚合物，其制备一般采用Gorham法，即在真空条件下，将对二 甲苯 环二体在 373K以上加热升华为气态，再经963K左右高温裂解成对二甲苯单体粒子单分子，单体进入沉积室，在基体 表面沉积、聚合，形成线性的聚对二甲苯薄膜。原料的升华与裂解速率、沉积压力、基体温度等都是影响Parylene膜沉 积速率、膜结构与性能的重要因素。 关键词 Parylene 沉积 聚合 DepositionPolymerizationProcessandEffectFactorsofParyleneFilms CHEN Yanping，SHUAIMaobing，XIAN Xiaobin，JIXiangbo，TANG Xianchen (NationalKeyLaboratoryforSurfacePhysicsandChemistry，Mianyang621907) Abstract Paryleneisahighqualitypolymer．Itispreparedusinggorham method，thatis，invacuum di—para- xylylenevaporizesatmorethan373K andispyrolyzedatabout963ktoform para-xylylene，whichisconductedintoa chamberanddepositedandpolmy erizedonthesurfaceofsubstratetoform linearmacromolecules．Therearesomeim— portantfactorssuchassublimationandpyrolyticrate，depositionpressureandsubstratetemperature，whichaffectdepo— sitionrate，structureandpropertyofparylenefilms． Keywords parylene，deposition，polmy erization 0 引言 1 沉积聚合过程 聚对二甲苯系列膜，商品名为 Parylene(派利纶)，是 2O世 纪6o年代中期美国UnionCarbide公司推出的一种新型高分子 聚合物，聚合度可以达到 5000左右。通过在苯环上引入不同的 基团或侧链 (如氯基、氟基、羟基、羧基等)可得到一系列不同结 构的Parylene。以氯基取代的Parylene膜，最常用 的有 3种 ： ParyleneN(PN)、ParyleneC(PC)和ParyleneD(PD)，其分子结 构式如图1所示。 ocH CfH(CH2 CfH ParyleneN Parylene C ParyleneD 晾詈嚣专 图 1 PN、PC、PD的分子结构式 Fig．1 StructureofPN、PC andPD Parylene具有优 良的隔绝性能、物理机械性能、光学性能 、 电绝缘性以及生物相容性_1]等多种优异特性，从而在半导体、微 删 z 电子集成电路口]、微电子机械系统(MENS)、传感器_l3’4_、生物医