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利用Langmuir技术构筑的光抗蚀剂聚合_省略_用_气液界面上聚合物单分子膜表.pdfVIP

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  • 2017-08-10 发布于重庆
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利用Langmuir技术构筑的光抗蚀剂聚合_省略_用_气液界面上聚合物单分子膜表.pdf

    利用Langmuir技术构筑的光抗蚀剂聚合_省略_用_气液界面上聚合物单分子膜表.pdf

    第 26卷 　第 2期 中州大学学报 2009年 4 月 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　 Vol. 26　　No. 2 JOURNAL 　OF　ZHON GZHOU 　UN IV ER SITY Ap r. 2009　 利用 L a ngmu i r技术构筑的光抗蚀剂聚合物纳米薄膜 ( ) 的表面微观结构及在光刻蚀方面的应用 Ⅰ : 气液界面上聚合物单分子膜表面行为的研究

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