一种硅基多层螺旋电感新型频变电路模型.pdfVIP

第四部分 微波毫米波无源器件及电路 一种硅基多层螺旋电感的新型频变电路模型 谢建勇，尹文言，毛军发 上海交通大学微波与射频技术研究中心 摘要：本文提出了一种可以预测硅基多层螺旋电感性能参数的新型频变电路模型。在本频变电路模型中，研究 了衬底的涡流效应引起的损耗，并用部分元等效电路（PEEC）模型建模研究了金属导线集肤效应和邻近效应； 在本电感频变电路模型中，各个频变参数的获得都由计算得到，没有使用任何优化拟合方法。在0 20 GHz 频率 范围内，本模型预测所得到的基于0.18 mm CMOS 工艺片上螺旋电感的频变品质因数、频变电感值和测试结果的 良好的吻合程度验证了本模型的正确性。 关键字：多层螺旋电感，集肤效应，邻近效应，涡流，部分元等效电路 A Novel Frequency-Dependent Circuit Model of Silicon-based Multi-layer Spiral Inductors Jian-Yong Xie, Wen-Yan Yin, Jun-Fa Mao Center for Microwave and RF Technologies, Shanghai Jiao Tong University Abstract: A novel frequency-dependent circuit model for predicting performance parameters of multi-layer spiral inductors is proposed in this paper. This model, which does not use any fitting and optimized parameters, modeled eddy currents loss in the silicon substrate, skin and proximity effects in metal tracks , which is combined with partial element equivalent circuit (PEEC) method. Excellent agreements are obtained between the modeled and measured inductance and Q-factor of fabricated multi-layer spiral inductors using 0.18 mm CMOS technology up to 20 GHz, thus confirms the validity of the model. Key Words : Multi-layer spiral inductor, Skin effect, Proximity effect, Eddy current, Partial element equivalent circuit (PEEC) 1 引言 应和邻近效应。文献[3]研究了共面传输线的衬底涡流 损耗，并拓展应用到平面螺旋电感建模中。文献[4]和 硅基多层螺旋电感由于占用芯片面积小，成本低， [5]研究了由于电场辐射引起的衬底损耗并且给出了 在射频和微波集成电路中得到了广泛的应用。为了能 一组闭合计算公式。 够很好的预测和优化电感的性能参数，一些针对片上 在本文提出的多层螺旋电感频变电路模型中，应 平面螺旋电感的模型[1-2]被提出。然而，对于片上多 用部分元等效电路方法对螺旋电感的金属螺旋线部分 层螺旋电感来说，由于几何结构的复杂性使得多层螺