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光电检测系统设计 ——基于干涉法测微小形变 课程名称： 光电检测系统设计 系 部： 光电技术学院 专业班级： 电子科学与技术111 编 组： 第四组 姓名学号： 柯地（2011031018） 罗东（2011031020） 张勇（2011031021） 指导教师： 朱海东 完成时间： 2015年12月19日 一、干涉法测物体微小形变 光的干涉现象表明了光的波动性质，干涉现象在科学研究与计量技术中有着广泛的应用。在干涉现象中，不论是何种干涉，相邻干涉条纹的光程差的改变都等于相干光的波长，可见光的波长虽然很小，但干涉条纹间的距离或干涉条纹的数目却是可以计量的。因此，通过对干涉条纹数目或条纹移动数目的计量，可得到以光的波长为单位的光程差。 利用光的干涉现象可以测量光的波长，检验表面的平面度、球面度、光洁度，精确的测量长度、角度，测量微小形变以及研究工作内应力的分布等。 1、产生干涉的条件 （1）两束光波的频率应当相同；?? （2）两束光波在相遇处的振动方向应当相同；?? （3）两束光波在相遇处应有固定不变的相位差。?? 因此必须利用同一发光点发出的光波分离成的两束相干光波在波列长度范围内重叠才能满足上述基本条件。各种不同光源发出的光波的波列长度是不同的，普通单色光源的波列长度约为?100—200mm,因此其光程差不能超过?100-200?mm，否则得不到干涉条纹。激光的波列长度比普通但是光源要长的多，所以用激光光源可以在很大光程差下得到干涉条纹。?这三个条件就是两束光波发生干涉的必要条件，通常称为相干条件。?? 2、干涉的原理 光的干涉是指两束或多束光在空间相遇时，光波相互叠加、在重叠区内形成稳定的强弱强度分布的现象。要获得稳定的干涉条纹就必须使两束光波的频率相同，相遇处振动方向相同且有固定不变的相位差、两个普通独立光源发出的光不能产生干涉现象。所以光学干涉中常用激光作为输出光源，主要是利用了激光良好的想干性。 3、产生干涉的方法 （1）分波法：将一个波列的波面分成两部分或者几部分，由这一部分发出的波再相遇时，就必然会产生干涉现象。杨氏双缝干涉实验就是应用这个原理。 （2）分振法：利用透明薄板的第一、二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解成若干部分，当这些部分的光波相遇时就产生干涉。这是一种很常见的获得相干光、产生干涉的方法。 干涉仪的种类 1、迈克尔逊干涉仪 2、法布里珀罗干涉仪 3、马赫泽德干涉仪 4、泰曼格林干涉仪 4、干涉法测物体微小形变优点 （1）测量精度高，激光器的工作波长为级一般干涉条纹中只移动N/10。 （2）设计原理技术可靠。 （3）系统操作方便简单。 5、干涉法测物体微小形变应用 （1）测小块材料的力学性能 利用迈克耳逊干涉法的测量精度为λ /2、小形变量△ι=N·λ/2的关系测量出黄铜单晶体的拉、压时的微小形变,并自制测力传感器及测力台获得受力数值,绘出精度较高的黄铜单晶的应力-应变图。 （2）测物体温度的变化 由于微小形变的物体的形变量随温度的变化而变化，所以可以通过测量物体的形变量，从而估算出温度的变化。 （3）间接测电压的大小 由于微小形变的物体的形变量随所加电压的变化而变化，所以可以通过测量物体的形变量，从而间接估算出所加电压的大小。 6、干涉条纹的间隔大小对测量的影响 物理学中，干涉（interference）是两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加从而形成新波形的现象。例如采用分束器将一束单色光束分成两束后，再让它们在空间中的某个区域内重叠，将会发现在重叠区域内的光强并不是均匀分布的：其明暗程度随其在空间中位置的不同而变化，最亮的地方超过了原先两束光的光强之和，而最暗的地方光强有可能为零，这种光强的重新分布被称作“干涉条纹”。在历史上，干涉现象及其相关实验是证明光的波动性的重要依据，但光的这种干涉性质直到十九世纪初才逐渐被人们发现，主要原因是相干光源的不易获得。 为了获得可以观测到可见光干涉的相干光源，人们发明制造了各种产生相干光的光学器件以及干涉仪，这些干涉仪在当时都具有非常高的测量精度：阿尔伯特·迈克耳孙就借助迈克耳孙干涉仪完成了著名的迈克耳孙－莫雷实验，得到了以太风观测的零结果[2]。而在二十世纪六十年代之后，激光这一高强度相干光源的发明使光学干涉测量技术得到了前所未有的广泛应用，在各种精密测量中都能见到激光干涉仪的身影。现在人们知道，两束电