绪论和微机械.pptVIP

* NEMS尺度 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 尺寸 (米) Atom DNA Bacteria Nanotube Nano manipulation NEMS motor * 机械学基础 * 微尺度效应——尺度非相似性 物理现象的尺度问题 若结构特征尺寸缩小S，则 体积力（质量）以S的三次方减小； 表面力（压力、静电力、摩擦力）以S的平方减小； 线力（表面张力）以S的一次方减小； 在微尺度领域，表面张力起主导作用；流体、表面力作用很强；粘结成为微机械的一个大问题。因此，对于典型的MEMS器件，表面力体积力（惯性力） * 机械学基础 * 加工尺寸极限 10-3 10-4 10-5 10-6 Critical Dimensions (m) Miniature Machining Meso Machining LIGA Si Surface Micromachining * 机械学基础 * 应用前景 军事国防 环境保护 工厂维修 医疗卫生 信息通信 交通运输 航空航天 …… * 机械学基础 * * 机械学基础 * * 机械学基础 * 微空降传感/传输器 * 机械学基础 * * 机械学基础 * 战场遥测气体分析仪 * 机械学基础 * DMD产品 * 机械学基础 * * 机械学基础 * Total world market for MST Products 2000-2005 (billions $) From the NEXUS market analysis 4.产业发展前景与发展趋势 * 机械学基础 * 小结(什么是MEMS？) Micro electro mechanical Systems 硅基、微系统？ 片上集成？ 微机电系统！ MEMS是一种理念，一种技术 Micro Engineered Multi-Science! Micro Everything Made Sense? Micro Enable Men Sensitive? …… * 机械学基础 机械学基础 机械学基础 机械学基础 机械学基础 机械学基础 机械学基础 机械与电子工程学院 闫锋欣 yfx2006@126.com * 第*页 共10页 机械学基础 课时安排 前言 1第1章 机构的组成及平面连杆机构 4第2章 凸轮与间歇运动机构 4 第3章 齿轮机构 8第4章 机械工程常用材料及其工程性能 1第5章 构件的受力分析与计算 7第6章 构件受力变形及其应力分析 5第7章 联接 4第8章 辅与联轴器 3第9章 零件的几何精度 5第10章 支承 4第11章 导轨 2第12章 螺旋传动 2第13章 带传动 6第14章 齿轮传动设计 6第15章 弹性元件 1第16章 微机械基础 1 合计：64 * 第*页 共11页 机械学基础 蒋秀珍，机械学基础（第二版）.科学出版社，2011. 濮良贵，机械设计（第七版）. 高等教育出版社，2001. 邱宣怀，机械设计（第五版）.高等教育出版社. 1997. 龚溎义，机械设计课程设计指导书（第2版）. 高等教育出版社，1997. Robert, L Mott. Machine Elements in Mechanical Design, 机械工业出版社，2002. 3 Collins, J A. Mechanical design of machine elements and machines, John Wiley Press, 2003 Mechanical Design, 武汉理工大学出版社，2004 参考教材 * 机械学基础 第*页 共11页 机械：机器与机构的总称 Machinery： generally means machines and mechanisms 机器：人为的构件组合、构件间具有确定的相对运动、能作有用的机械功或完成能量、物料和信息传递的装置 Machine: an assemblage of parts that transmit forces, motion and energy in a predetermined manner. 机构：人为的构件组合、构件间具有确定的相对运动 Mechanism ：a combination of rigid or resistant bod