显微光栅衍射应变直接测量.pdfVIP

』J测嚣系坑的守问分努}半艟又垃垃。 ．芙键谢 光栅打}射．戍垒．弧馨袁，址敲镜．付々…lm勃瞳镜，衍譬f斑点『贞心 一、引言 名所密切天注．f{f研究蓿。住众多的光学删猫方法I}I，光衍射法得剑的信息是直接与戍变彳『 笑的。例如：止交光栅在细激光求心明F可观察剑由多个亮掰点组成的衍射花样豳，这些 讲点的相对位置的变化只与光栅1，距的变化、光栅线的转动订戈，而10光栅的刚体平移无 笑。作为瓿接测皴麻变的光栅衍射方法还』l订不进光、不接触儿I』『远距离测埘、不需要进 行条纹分析，光路栩对简挚不需要分辨及记录光栅线的特点。采j”光栅衍射原理进行应变 rJ’泛的戍川。 实验和测姑装置lE楚为了迂应这一新的需要。本文介绍一新的光栅应变系统，综合逆川了 显微光学理论、光栅衍射技术、弧象素技术，实现了仡光学显微镜F的臼光光栅衍射测最 虑变。实验系统主要只有以F特点： 龄：④视场(待测医城)可调，试件可作面内二个方向的平动；⑤系统紧凑，光路准确，光 强控制及位置调整容易；⑥衍甜图像质鞋。弘常§，。 二、显微光栅衍射应变测量原理 ’卜海市自然年}学娃仓重点项目，教育部坶l点毕台项￡} ·4D3· 十 ； ‘ ； ： 砘代力学测试披术 I．显微光栅谱的成象原理 衍射光栅麻变法一般采埘一细求激光照射一高密光栅，在一远距离放置的成象屏上得 10光栅的Fraunhofer衍射幽样+如陶1(a)所示，在显微镜卜．川光栅衍射方法，处理过群有 些不同，闪为在显微镜F得到的一般是光栅象而不是谱。这人致可用Abee显微光学成象原 理解释：将试¨：光栅放在一透射式显微镜物镜成象系统的物平面上。点光源照明后，入射 光波坡试仆衍射．在物镜的厉焦面(戏称谱平面)上将形成光栅的另一种形式的Fraunhofer 衍射图样。由丁I衍射谱只能成缘在物镜的后焦面上，所以要通过显微镜记录或观察光栅的 衍射谱． 必须将物镜系统的后熙面佗置姬K至照相位置(ccD靶面)或目镜的场透镜处。否 则的话．记录或观察到的是光栅fI匀象而不是谱。调枢物镜系统的厉焦面位置可以通过调W 辅助物镜米实现。与一般的光栅廊变测{f{：系统棚比．实际采埘的是一勃氏镜。这一原理示 意丁圈t(b)．这也是另外一种形式f以F1．aunhofer衍射。 2．应变测量原理 考虑一求平{?单色光，弧直照射一单阳平行光栅，得到如图1(8)所示的衍射燃。可Ⅲ光 栅衍射方料米描述这一现象： |f’sjn统2胤 ，z：o、±f如． (I) 这里尸为光栅H距，n为衍射级次．z为入射光波长．跏姓衍射角。光栅变形斤·衍射角和 ㈨韪也要发生相席的变化。变化屙的光栅岢距记为尸．可得到沿栅线法线方向的线戍变： P+一Px：一xn． 下2丁。” (2) 武中o”、^”为变形前膈的第，7纵{}j射斑点的儿¨重心忙拦．C，，对给定的衍射级N来i兑 赴个常数。对幽l(a)的光踏来说，枉单乜光的情况l：近似地有：翻=c。s铆。考虑到光棚密 度4：超过200线／吣m，衍目{：ffj徽小，Ⅵ近似地取cos翻=1。田此，方料(2)可简化为： ％。警 ㈥ 如粜采川且：交光栅，町咀测出平血席变的二=个分姑e—e…eq 三、系统与实验 1．实验装置与测量过程 POL璎偏光显微镜及光栅组成，二i=要包括(F1光) 光学系统i要n|1．eitz～0RT¨0PL州lI 光源、干涉滤波器，物方祝场光阑、聚光镜、孔径光闹、透射光栅、物镜、勃氏镜(Bertrand lens)、目镜等。 MTv—i802c8)、幽像螭化#mVP512×512 采样与处理系统由ccD摄像部分