无阀微泵扩散口%2f喷嘴的计算机模拟.pdfVIP

s1℃，99 无阀微泵扩散口膜嘴的计算机模拟 李新刘晓为车伟 哈尔滨工业大学MEMS中心150001 摘要 ● 本文讨论了无阀微泵扩散口廊}口觜的整口斟寺性，模拟分析了扩散口顺嘴结构参数对无阀 微泵工作特牲的影响，在模搠堋中，采用有限元i别讹扩散口，喷嘴的结构_15}计a模拟结 果与嫁的实验磨殴为符合，为无阀鳜的结构设计提供了簸的参等依据。 一，引言 毫 近几年来，微机妇工技术在微执行器制作上的应用推动了微执行器的迅速发展，到 目前为止，已利用崮串扬长制成傲马达、微泵、微阀限趟干对准器、辫刘馓铙l学晰嚷 空场发射剥铐潲鸯I衍器。毹排为铡女行器的—种，由于它能够蹦敏d、漪d黜彳亍：I黜《 ㈣，并在许多领域有很好的应用前景，因而引起了人们的普遍重视。无阀微泵是近年来发 展起来的—种新型微§翌蜘，无阀微泵采用扩散口／喷嘴代替通常的有阀结构，无阀微泵具有 可以采用乎_面设计、结构简单、易于加工、便于批量生产等优点；同时由于无阀镯原没有可 动部分，使它能够适用于各种流体，如气体、液体、带有固体微粒的液体等，并且减少了阻 塞现象的发生。无阀微泵的主要结构包括腔体和扩散口／喷嘴，其中扩散口，喷嘴是微泵中的 “流量二极管”， 是无阀微泵的核心部分。目前，无阀微泵作为一种新型微泵，其设计主 要依靠实验和一些定性分析的手段，这带有一定的盲目性，不乖j于无阀微泵的研制。为此， 本文采用计算机模拟的方法来定量分析扩散口，喷嘴的整流性能及其结构参数的影响，从而 优化扩散口晦雠墙勺结构设计。 二、无阀微泵工作原理 无阀微泵的主要组成韶件包括带有驱动膜片自g腔体和两个扩散口顾嘴结构6，工作原理 图如图1。 腔体体积增大 腔体体积缩小 入口 出口 ● (a)供给横式 (b)泵桴弑 图I无阀微泵的工作原理圈 无阔微泵通过驱动膜片的驱动引起腔体的体积变化，从而驱动流体流动。无阀微泵的扩散 ● 口是横截面面积在流体流动方向上逐渐扩大的流i勘蔻道；喷嘴是横截面面积在流体流动方向 上逐渐缩小的流通通道。无阑微泵的工作原理就是基于两个扩散口／喷嘴具有整流特性。如 果扩散口／喷嘴结构设计合理．在同样的压强差驱动下，在扩散方向的流量将大于在喷嘴方 向的流量。微泵的一个工作周期可以分为“供给模式”和“泵模式”两个阶段，膜片向下 弯曲进入“泵模式”时(图1(a))，腔体体积减小，微泵的出口充当扩散口，进13充当喷嘴， 结果扩散口流出量犬于喷嘴的流出量：反之．当膜片向上弯曲，微泵进^“供给模式”(图 1(b)1时，腔体体积增大，此时入口充当扩散口t而出口充当喷嘴，其结果是扩散口流进 默于喷嘴蝴i躞匾。无蝴整剥—卜工作周期的尉冬结剽静定j翱撞靠隆阵内振动 膜片的g嘞由入口至啦盘出口侧。 三、模拟结果及分析 本文讨论的无阀微泵的扩散口和喷嘴横截面 为矩形，扩散口／喷嘴的结构如图2，d为扩散口最