一种芯片外观检测筛选器的设计.pdfVIP

《装备制造技术}2015年第 2期 一 种芯片外观检测筛选器的设计 向志渊 ’，王 春 ’，曹 杰 (1．钟山职业技术学院工业与信息化学院，江苏 南京 210049； 2．桂林电子科技大学机电工程学院光机电一体化研究所，广西 桂林 541004) 摘 要：根据芯片加工完成后常见缺陷，提取特征并将其分类。基于信息熵特征选择方法，将这些特征量进行优化选择。 基于BP神经网络的构建了筛选器模型，并设计了机械结构，通过现场对样本的采集进行训练与测试，结果表明该筛选 器能够很好识别5种常见的芯片缺陷。 关键词：筛选器；信息熵；模式识别 中图分类号：TH122 文献标识码：B 文章编号：1672—545X(2015)02—0063—03 在电子集成电路器件生产的流水线上，芯片外 纹理特征、空间关系特征等。根据生产实践过程中出 观检测是一项重要的工序 ，包括了许多检测项 目，例 现的SOP芯片外观缺陷，通过汇总选取研究了46个 如：芯片的外观尺寸，芯片引脚平整度 以及芯片塑模 相关特征量 ，并将其分成以下几类： 上的印字，等等。目前，在生产线上外观检测仍是人 (1)形状特性 工检测 (目测)，由于各条生产线之间的差异 ，导致了 形状特征的表示方法有2类 ，一类是轮廓特征， 芯片的外观缺陷往往多样化和复杂化，所以人工检 另一类是区域特征。图像的轮廓特征主要针对物体 测无法避免原理误差与人疲劳后的主观随意性 ，对 的外边界，而图像的区域特征则关系到整个形状区 于批量的芯片制造是极为不可取的。在芯片的外观 域。几何形状特征为芯片的基本特征，可以通过几何 检测中，同一种类型的错误会有微小的差异；不同类 参数法、形状不变矩法、边界特殊法来描述。 型的错误也有相似性 ，容易将其定义为同一种错误， (2)颜色特征 以芯片引脚外观检测为例，很容易将引脚粘锡过多 颜色特征是一种全局特征 ，描述了图像或图像 (俗称 “胖脚”)与引脚在折弯过程中自身外形误差而 区域所对应的景物的表面性质。常用的有颜色直方 引起的外观缺陷归结同一类错误，而实际上这是两 图、颜色矩 、颜色聚合向量等方法，本文中采用提取 种不同类型的错误。芯片制造企业会对每种类型错 图像灰度表示 ，提取的灰度值包括度的平均值 、方 误进行统计 ，分析并解决问题，从而指导生产出高质 差 、歪度、峭度、能量、熵等。 量的芯片。针对人工检测的诸多缺点，本文提出了基 (3)纹理特征 于模式识别 的芯片外观检测的方法。以图 1所示 纹理特征也是种全局特征，描述了图像或图像 SOP这类芯片为例，首先对这类芯片外观检测的诸 区域所对应景物的表面性质 。它需要在包含多个像 多方面进行分类，并从检测样品中进行特征提取，研 素点的区域中进行统计计算，在某些芯片的外观上 究了基于BP神经网络的筛选器设计，然后给出试验 反映出比较明显的纹理特征，例如：磨具的长期使用 结果并进行了筛选器机械结构设计21『。 导致了芯片封装的表面凹凸不平；热锡焊炉温度的 不均导致芯片引脚的焊锡出现气孔。描述纹理特征 凸 的方法包括几何法、模型法、信号处理发等，而本文 研究的纹理特征是采用统计法 ，通过灰度共生矩阵 图 1 SOP芯片及示意 图 得到，包括纹理的二阶矩、熵、对比度和均匀性等。 1 样本特征分类与提取