新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪的设计和实验研究.pdfVIP

微纳米光学器件与系统 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪的设计与实验研究 王波12梁中翥1孔延梅。2梁静秋”朱万彬1付建国1。2郑莹1。2 吕金光1。2王维彪1裴舒1张军3 1、(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春130033) 北京100039) 2、(oe国科学院研究生院， 3、(暨南大学光电工程系，广州，510632) 傅里叶变换光谱仪(FTS)由于具备多通道和高通量的优点，在光谱分析中有 着广泛的应用。但传统的FTS较为笨重，不便于携带和移动，使其应用受到限 制，随着微光机电系统(MOEMS)技术的发展与日益成熟，FTS呈现出向微型 化发展的趋势。 傅里叶变换光谱技术从实现方式上可以分为时间调制和空间调制两大类。近 几年，国外开展了微型FTS的研究，大部分基于时间调制方式。这种调制方式 的光谱仪需要高精度的动镜驱动系统，通过驱动器来控制反射镜运动从而改变其 空间位置以获得不同时刻的干涉图，这使得系统加工和装调都比较困难，重复性 较差；并且时间调制方式不能实现实时测量，这都成为制约其发展的瓶颈。与时 间调制方式相比，空间调制方式的光谱仪结构中没有可动部件，从而使得系统具 备稳定性好，结构紧凑等优点，并且能够实现光谱的实时测量。 本文设计了一种基于多级微反射镜的空间调制微型FTS，其分光干涉系统采 用迈克尔逊干涉系统，将两臂的平面反射镜用多级微反射镜代替。多级微反射镜 上不同反射面反射的光分别与另一多级微反射镜上不同反射面反射的光干涉，其 间光程差各不相同，产生不同级次的干涉图数据被同时采集处理。这种结构无需 动镜扫描系统，且能实现实时测量。 多级微反射镜是本文所设计的微型FTS的核心部件，其反射周期由测量波 段范围决定，～般在微米纳米尺度。本文设计了一种硅基多级微反射镜，通过对 衍射效应的模拟分析确定了该结构方案的可行性。以MEMS工艺为基础，采用 硅的各向异性刻蚀方法实现硅基多级微反射镜的制作。 另外，设计了本系统的各光学元件结构及相关参数，并根据测量需要完成了 探测阵列的选择，进行了分束器、准直器等光学元件的材料选择和加工制作，并 在此基础上实现了系统的初步集成装调。给出了实际系统结构。 综述本文，提出了一种新型空间调制微型FTS，介绍了其分光干涉系统及工 作原理；设计并加工制作了准直器和分束器等元器件；研究了其核心部件多级微 反射镜的制作方法，并制作了硅基多级微反射镜。实现了系统的初步装调和集成。 [810字] 参考文献 [1]刘宏欣、张军、梁静秋、卢锷、陈星旦，光谱学与光谱分析[J】2006，26：299．302 1-2206 [2】GerbenB，PatrickR，ToralfS，PeterS，ReneD，Appl．Opt[J]，2004，43：220 [3]李志刚、王淑荣、李福田，光谱学与光谱分析【J]2000，20：203．206 K [4]MullerD，SPIEl992[c]，1993，130-139 R Y C T andActuators 1 9：263—270 Y，Po 【5]Chii C，YuangC，RongL，Sensors A[J]，2005，1 +通讯作者：梁静秋，研究员，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 电话0431邮箱 liangN@ciomp．ac．cn 中腰微米纳术拄术学尝第卜“学术年会 巾，w)。击岛(。)(1“2～1’) … 晶．=4m∑，D(女一7 ¨6 f2、