微操作和微装配中微力感知方法的综述.pdfVIP

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第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 Vbl.29No.4 2008年4月 ChineseJoumalofScientificInstrument Apr.2008 微操作与微装配中微力感知方法的综述丰 刘意杨1’2 王越超1 于鹏’ 董再励1 (1中国科学院沈阳自动化研究所机器入学国家重点实验室沈阳110016; 2中国科学院研究生院北京 100049) 摘要本文介绍了微力感知的各种方法,分析了每种感知方法的基本原理、检测精度及适用范围,并对微装配与微操作中微 力传感器的应用作了简要的回顾。在微操作与微装配中,实现可靠的微力感知是目前研究的重要目标之一。本文通过对各种 微力感知方法的基本原理进行研究,总结出六大类方法的特点、检测精度以及适宜的使用场合。目的是为从事微力感知研究 的学者提供参考,进而促进微装配和微操作的自动化加工技术水平,实现微型装备的可靠、高产量的批量制造。 关键词微力感知微操作微装配 文献标识码A 中图分类号TP212 国家标准学科分类代码5lO.804 An ofMicro—force and oVerview Methodsin Sensing Microassem bIy Liu Yuecha01Yu Zailil Yiyan91’2Wang Pen91Dong l sldle hinese nool6。C融m; 0 Ke)7hbor口t钟y可Robolics.Sk碍nngInsntHte硝A链to”lmion.CAcndemy《sciences。She唧nng 2GrndHdte chi舵se Schoot巧IheAcndem)I巧sctences.BeiJi鸭lo0049,Chi,t由 AbstractThis descr.besVariousmicro-force aJld theories,resolution paper sensingmethods,analyzes applied fleldsof abriefoVerviewabout ofmicro—force each sensOrs.Intheresearchon method,andgiVes applications and micr伊forceis tothebasic microaSsembly,reliable micromanipulatiOn sensingquiteimponant.According theorjes0fVariousmicro—force summarizes and sensingmethods,this features,res0Iutjon paper

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