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第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 Vbl.29No.4
2008年4月 ChineseJoumalofScientificInstrument Apr.2008
微操作与微装配中微力感知方法的综述丰
刘意杨1’2 王越超1 于鹏’ 董再励1
(1中国科学院沈阳自动化研究所机器入学国家重点实验室沈阳110016;
2中国科学院研究生院北京 100049)
摘要本文介绍了微力感知的各种方法,分析了每种感知方法的基本原理、检测精度及适用范围,并对微装配与微操作中微
力传感器的应用作了简要的回顾。在微操作与微装配中,实现可靠的微力感知是目前研究的重要目标之一。本文通过对各种
微力感知方法的基本原理进行研究,总结出六大类方法的特点、检测精度以及适宜的使用场合。目的是为从事微力感知研究
的学者提供参考,进而促进微装配和微操作的自动化加工技术水平,实现微型装备的可靠、高产量的批量制造。
关键词微力感知微操作微装配
文献标识码A
中图分类号TP212 国家标准学科分类代码5lO.804
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AbstractThis descr.besVariousmicro-force aJld
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each sensOrs.Intheresearchon
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and micr伊forceis tothebasic
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