一种电热式MEMS微镜多自由度模型解析方法.pdfVIP

2014年 第33卷 第 1O期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 17 DOI：10．13873／J．1000--9787(2014)10-0017-04 一 种 电热式 MEMS微镜多 自由度模型解析方法 章 皓 ，徐大诚 ，陈 巧 ，谢会开 (1．苏州大学 电子信息学院。江苏 苏州215000； 2．无锡微奥科技有限公司。江苏 无锡214000； 3．美国佛罗里达大学 电气与计算机工程系。美国 佛罗里达州32306) 摘 要：结合微镜驱动器结构 ，通过引入热导和弹簧刚体模型分析了多驱动器间热传导和相互作用力导 致的形变原因，并建立了多自由度微镜的数学模型。仿真与实验数据对比说明：建立的模型与实验结果具 有较好的一致性，能够预测4个驱动器的输入响应特性。 关键词：MEMS微镜；数学建模 ；驱动器 中图分类号： 文献标识码 ：A 文章编号：1000--9787(2014)10-0017-04 A modelanalyticalmethodofmulti．DOF electrothermal MEM Smicro．mirror ZHANGHao ，XUDa．cheng，CHENQiao。，XIEHui．kai。 (1．CollegeofElectronicsandInformationScience，SoochowUniversity，Suzhou215000，China； 2．W uxiW iO TechnologyCoLtd，W uxi214000，China； 3．DepartmentofElectricalandComputerEngineering，UniversityofFIorida32306，Gainesville，FJorjda，USA) Abstract：Thedeformation reasonofactuatorcausedbyheatconduction and interaction forceisanalyzedby introducingthermalconductionandspringrindmodelcombinedwithstructureofmicro—mirroractuator，andmulti- DOFmathematicalmodelformicro．milTOTiSestablished．Compadson ofsimulation．andexperimentaldatashow thattheconsturctedmodelagreeswellwithexperimentalresults，itcan predictinputresponsescharacteristicsof foUtactuators． Keywords：MEMSmicro—mirror；mathematicalmodeling；actuator 0 引 言 器分解为有限数量的电热耦合网络元素，每个元素包含温 MEMS微镜是一种利用微驱动器控制镜面位移或转 度电压节点、等效热功率源和热 电阻器 ；再采用仿真软 动，从而实现调整入射光空间分布的调制器，主要应用在光 件SPICE处理分析模型数据。此方法精度高，但建模时间 通信、显示和投影成像等技术领域 ]。其中，微驱动器的 长且无法对器件进行系统级仿真。文献[6，7]针对单个驱 研制是关键，相比通常的电磁式、静电式和压电式驱动，电 动器建立电热模型，但是多 自由度MEMS微镜存在多驱动