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多线切割机张力控制系统的优化 Theoptim izationfortensioncontroIsystem ofmulti-w iresaw 张桂鹏，李 英，高 志 ZHANG Gui．peng，LIYing，GAO Zhj (华东理工大学机械与动力工程学院，上海 200237) 摘 要：以多线切割机的张力控制系统为研究对象，对多线切割机的张力控制进行了优化。建立了张力 控制系统的运动学与动力学模型，分析了放线辊半径、走丝换向等扰动因素对控制系统张力 的影响，并进行了优化 ，采用了张力控制的模糊PID控制方法，并对其进行了仿真研究。研究 结果表明：采用模糊PID控制方法有效地优化了系统的张力波动，保证了系统张力的稳定，提 高了多线切割机的加工精度。 关键词：多线切割机 ；模糊PID；张力控制；Simulink仿真 中图分类号：TP13 文献标识码：B 文章编号：1009—0134(2015)o3(下)一01O9一D3 Doi：10．3969／J．issn．1009-0134．2015．03(下)．34 0 引言 多线切割技术是一种新型的切割技术，其原理是通过 切割线的往复运动，把磨料带入加工区域进行研磨切割， 可一次性将材料加工成几百上千枚薄片fJ。与传统的加工 技术相 比，多线切割机具有生产效率高、加工精度高等优 点，在硬脆性材料加工领域有很强的优势，已逐渐取代传 统的加工技术，成为主流的半导体材料加工装备嘲。 多线切割机控制系统复杂，影响切割机加工精度的 因素有很多，其中切割线张力的控制尤为重要。张力过 图l 放线端结构不意l奎l 大，会导致切割线崩断，造成材料的浪费；张力过小， 线的弹性伸缩，可以得到张力控制系统的运动学方程 。 会导致切割机加工精度降低口】。控制多线切割机走线系 根据运动学关系有： 统的张力是关系到生产效率、加工精度的关键技术。文 一 1， (1) 献 4【】采用PID积分分离算法对多线切割机的张力进行控 制；文献 5【】采用了一种基于相邻轴误差的多电机同步控 式中：v为张力轮线速度 ； 制方法来控制张力波动 。目前讨论放线辊半径、走丝换 V．为放线辊线速度； 向等扰动因素 以及将模糊PID控制方法应用于多线切割 v，为加工辊线速度。 机的张力控制等方面的研究还比较少，本文提出了一种 张力轮在竖直方 向上的位移 为线速度的积分： 基于模糊PID控制的张力控制方法，并对该方法进行了 = 诎 = (vl—v2)dt (2) 仿真验证 ，仿真结果证明了该方法有效地优化了走线系 统的张力波动。 张力轮 的角位移0为角速度的积分： t 1 走线系统运动学与动力学模型 = 础 =万1J(Vl—v2)dr (3) 。 以切割机走线系统的放线端为研究对象来分析张力 式中：w为张力轮角速度； 波动 的原因。图l为放线端结构示意图，张力控制方式 L为摆杆长度。 为弹簧张紧。系统装有角位移传感器 ，将测得信号