原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第15卷第12期 光学精密工程 V01．15No．12
andPrecision
2007年12月 Optics Engineering Dec．2007
ArticleID1004—924X(2007)12—1915-06
不同材料滤片对13--43nm高次谐波的抑制
周洪军1，钟鹏飞2，霍同林1，郑津津2，张国斌1，戚泽明1
(1．中国科学技术大学国家同步辐射实验室，安徽合肥230029；
2．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230026)
摘要：国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而
建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能，必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已
经建成的光束线，要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的，最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑
制不同波段的高次谐波。为了研究高次谐波的抑制效果，可将840l／ram透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭
缝后面色散出射光，用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线，然后分析得到高次谐波的含量和分布。本文分别研究了
不同厚度的AI(200、400和600 am，100／50／150／
150／250
nm)和AI／Mg／AI滤片对13～43nm光谱高次谐波的抑制效果。研究结果显示，400nm厚的Al滤片适合于17
～33nm光谱高次谐波的抑制，在保证探测器信号强度的条件下，高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例2％，经
nm的高次谐
探测器量子效率修正后，高次谐波比例o．6％。Si，N。／Mo／si／Mo／Si多层膜滤片可以有效地抑制13～19
波．AI／Mg／AI滤片对30～43nm的高次谐波有很好的抑制作用。这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确
定标奠定了基础。
关键词：同步辐射；高次谐波抑制；滤片
中图分类号：0433．1文献标识码：A
of harmonicsdifferent
Suppressionhigher-orderby
materialfiltersin13～43am
ZHOU Peng—fei2，HUO
Hong—junl，ZHONG Tong—linl，
ZHENG
Jin-jin2，ZHANGGuo-binl，QIZe-min91
(1．National Radiation Scienceand
SynchrotronLaboratory，Universityof
230029，China；2．Departmentof
TechnologyofChina，Hefei
Precision andPrecision
Machinery Instrumentation，Universityof
Scienceand 230026，China)
ofChina，Hefei
Technology
of RadiationStandardand
Abstract：The
文档评论（0）