飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验和理论研究.pdfVIP

飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验和理论研究’ 邓蕴沛贾天卿冷雨欣陆海鹤李儒新徐至展 (中国科学院上海光学精密机械研究所强光光学开放研究实验室，上海201800) 实验研究了800nm飞秒激光作用下石英玻璃的破坏机制和烧蚀规律，给出了破坏阚值 与脉冲宽度的关系。发展了雪崩击穿模型，理论计算了材料的烧蚀闽值与脉冲宽度的依赖关 系，烧蚀深度、烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系，研究了导带电子的扩散对材料中激光能量 的沉积、分布，材料的破坏阂值和烧蚀规律的影响。 关键字：飞秒激光脉冲，破坏机制。石英玻璃，电子扩散 PACC：4280W，6180 1 引言 近年来，人们提出j，雪崩击穿模型和微爆炸模型来解释超短脉冲激光作用下 石英玻璃的烧蚀与微加工f1。7】。在雪崩击穿模型中，导带电子是通过光致电离和 碰撞电离两种途径产生的。采用多光子电离公式计算光致电离速率，这种理论处 理方法仅适用于，5TW／cm2的范围内【引。计算碰撞电离公式的基础是导带电子 存直流电场中的漂移和加速，即把激光场作为直流电场处理，这种处理方法适用 于光强，坷OTW／cm2191。目前的理论主要研究了导带电予的，她生过程，激光能 量的沉积和材料的烧蚀还很少研究。 本篇文章中，我们实验研究了800rim飞秒激光作用下石英玻璃的破坏闽值和 烧蚀规律，继承并发展了雪崩击穿模型，计算了材料的烧蚀闽值与脉冲宽度的依 ‘困家自然科学基金(批准号19974058、嘲家重点基础研究规划项目(批准号 G1999075200) 103l 赖关系，烧蚀深度、烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系，研究了导带电子的扩散对 材料中激光能量的沉积、分布，材料的破坏阈值和烧蚀规律的影响。 2．实验 实验中我们使用的是掺钛蓝宝石激光器输出的波长800nm、重复频率1Hz 的激光脉冲。利用1／2入波片和偏振片可以在0一O．6mJ的范围内连续改变脉冲的 能量。激光器输出的脉冲宽度为40fs，通过在光路中加入非线性色散介质(zF6 glass)可以在45--800fs的范围内改变脉冲宽度。激光束通过透镜后汇聚到样品 的前表面，焦斑直径约28微米。石英玻璃样品的原料是高纯度的JGI玻璃，厚 lnun，两面抛光。用原子力显微镜测量表明，表面粗糙度约10rim。 利用烧蚀面积与激光强度近似成对数关系的方法确定材料破坏阈值，图1 给出了材料的破坏阈值与脉冲宽度的依赖关系。我们用40ps，1064nm的激光和 5ns，1053nm的激光照射石英块(1cm3)，得到的破坏阈值分别用空心向上和向下 的三角形表示。在几十ps到ns范围内，材料的烧蚀阈值与脉冲宽度符合热烧蚀 的规律：瓦～T05。当脉冲宽度T10ps时，破坏阈值与脉冲宽度的依赖关系明 显偏离这个规律，材料发生了雪崩击穿。 图1破坏阈值与脉冲宽度的依赖关系 ilm激光作用下石英玻璃表面的烧蚀深度与脉冲能量的关系． 图2给出了800 当激光强度刚超过烧蚀阈值时，烧蚀深度迅速增加。随着激光强度的进一步增加， 烧蚀深度增加的速度逐渐降低。烧蚀深度与激光强度近似成对数关系。文献[10】 和【Il】分别研究了飞秒激光烧蚀A1。0。和钡玻璃的烧蚀规律，与我们的结果基本一 致。但到目前为止，还没有见到系统研究石英玻璃的烧蚀深度与激光强度的依赖 关系。图3是800nm激光的烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系。随着激光强度的增 加，材料的烧蚀面积也逐渐增加，所以材料的烧蚀体积与激光强度近似成正比。 文献[8]曾研究了石英玻璃在800nm，220fs和5fs脉冲激光作用下的烧蚀体积与 脉冲能量的关系，与我们这里给出的结果类似。 图2烧蚀深度与脉冲能量的关系 图3烧蚀体积与脉冲能量的关系 3．理论分析 飞秒激光照射下透明介质的破坏机制是一个非常复杂的问题，它包括价电子 的电离，导带电·’于的演化，材料中能量的沉积与烧蚀等过程。这里我们主要采用 量子场论与经典理论相结合的方法，研究了导带电子的光吸收。图4给出了导带 电子总的吸收激光能量的速率与激光强度的关系。当激光强度很小时，电子吸收 激光能量的速率随激光强度线性增加。当光强接近1TW／cm2时，多光子吸收开 始起重要作用，吸收速率开始非线性增加。人们研究了可见光激光照射下石英玻 璃的