磁力显微镜的历史、原理和运用.pdfVIP

磁力显微镜的历史、原理和运用 韩宝善 p国科学院物理所磁学圉家重点实验室，北京100080 摘要 新的有力的工具．本文筒单介绍丁MFM的历史、原理、运作和应用，并介绍了中科院物 理所一年来的MFM研究，举了两个实例．蛀后，对MFM研究的重要问题作了评论． 1发展历史 子隧道效应，当一个原子尺度的金属针尖非常接近样品，在有外电场存在时，就有隧道电 流It发生．It强烈地依赖于针尖与样品之间的距离，因而探测It就能得到具有原子分辨率 的样品表面三维图像． STM能获得表面电子结构信息，可在大气、真空、低温，及液体 覆盖下使用，因而已被广泛应用于表面科学、材料科学、生命科学及微电子技术等领域，极 大地推动了纳米科技的发展．然而，由于在操作中需要施加偏电压，因而STM只能用于 理是当针尖顶部原子的电子云压迫样品表面原子的电子云时，会产生微弱的排斥力，如范 der 德瓦尔斯(VanWaals)力、静电力等，且力随样品表面形貌而变化．如果用激光束探测 针尖悬臂位移的方法来探测该原子力，就能得到原子分辨率的样品形貌图象．由于AFM 不需要加偏压，所以适用于包括绝缘体在内的所有材料，应用领域广阔．更重要的是由 AFM可派生出一系列的力显微镜，1987年发明的磁力显微镜【3】是其中之一． 2原理 众所周知，磁相互作用是长程的磁偶极作用，因而如果AFM的探针是铁磁性的．而 且磁针尖在磁性材料表面上方以恒定的高度扫描，就能感受到磁性材料表面的杂散磁场的 磁作用力． 因而，探铡磁力梯度的分布就能得到产生杂散磁场的表面磁畴结构、表面磁 体、写入的磁斑等表面磁结构的信息，这就是MFM．纳米尺度的磁针尖加上纳米尺度的 扫描高度使磁性材料表面磁结构的探测精细到纳米尺度，这就是MFM这个新工具的特点 和意义．目前，MFM的横向分辨率能达到20．50rim，比通常观察磁畴的偏光显微镜高十 倍以上，而且可在大气、常温下测量，因而成为表面磁结构研究新的有力的工具． 上有～个磁针尖，其下方的样品固定在一个压电扫描器上．磁针尖和磁性样品的相互作用 引起的悬臂的偏转，由在悬臂上反射的激光束和一个光电二极管组探测．悬臂和磁针尖的 运动，压电扫描器的操作，以及探测信号的分析由计算机和SPM控制器控制完成，所得 到形貌和磁力图则由显示器显示． 悬臂， 压电 (a) 磁性样品表面的磁结构 J—i． 倒iMFM示意图(a)和磁力探测原理图(b) 磁化强度为M的铁磁性材料表面上存在着由裘面磁结构的△M或M·n产生的杂散磁场 对磁针尖的磁膜体积V进行的．在点磁荷模型下，引起悬臂转的F的Z分量可表示为 F：=m。0HJ+my矛Hy／az+m：aHz，az 通常磁针尖是垂直磁化的(m：≠0)．在这种情况下MFM只对杂散磁场的Z分量H：及其微 商aHjaz敏感．在动态检测的情形下，磁针尖和ti的相互作用便针尖的共振频率fo和位 相m改变．如保持酗不变，则频率位移△f和磁力梯度F’：的关系为 At=foF’：／2k (2) 其中k是悬臂的弹性系数．结合方程(1)可知探测△f，即探测磁力梯度F’：，就能得 到表面磁结构的信息．同样．如保持△f不变． 探测酗也行，但(2)式应改为△+=QF’：， k．其中Q是悬臂的品质因数． Ilia．NanoScopeIlia采用动态检测的 典型的MFM产品是美国D{公司的NanoScope (L确模式进行两次扫描，能同时测出样品同一面积上的形貌和磁力图． 3应用 由于磁记录介质有较高的剩磁Br和矫顽力H。，所以表面有较大的杂散磁场，容易得到 高反差的磁力图．因而用MFM特别合适．事实上，在MFM发展初期，MFN、首先用于各 种碰记录介质和磁里h仔细研究和分析写入豹磁斑，记录的轨道，磁头磁场分布等．现在， 高度”(Height)，表明这是～幅反映样品表面真实高度变化的形貌图．色标(zran