Cr原子在高斯型激光驻波场中汇聚沉积的理论研究.pdfVIP

二oo六年全国光电技术学术交流蝴论文集(F) Cr原子在高斯型激光驻波场中汇聚沉积的理论研究 马彬，王占山，赵敏，马艳，马姗姗 (同济大学精密光学工程技术研究所，上海200092) 摘要：在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中，半经典理论是一种简单而有效的方法．利用半经典理 论模型，对Cr原子在高斯型激光驻波场中的汇聚沉积，进行了模拟分析和研究．通过龙格一库塔法数值模拟 出在不同失谐量△、激光功率P、Cr原子束的横向纵向速度、基片摆放位置z，和高斯光束束腰彩。条件下， Cr原子沉积光栅结构的变化，根据所得各光栅图形参数，分析了不同因素对Cr原子沉积的影响． 关键词：原子沉积； 半经典理论模型； 激光驻波场； 对比度； 分辨率 中圈分类号l0431．2 文献标识码lA in SimulationofCratoms a laser field gauss depositionpattern standing MA Shah-shah Bin，WANGZhan-shan，ZHAOMin，MAYan，MA ofPrecision (Institute Optical University,Shanghai200092，China) Engineering，Tongji isa andeffectivemethodinthe ofatoms ina Abstract：Semi—classical theorysimple study depositionpattern laser field．TheactivitiesofCratoms aGauss werestudiedthe standing traversing potential by inthis structuresof undervariousconditionsweresimulated numerical paper．The gratings using approximation onthe influenceofthefactorstotheatom as method．Basinggratingparameters，the deposition，such and substrate laserwaist,are position power,velocity,the analysed． words：Atom Key deposition；Semi—classicalapproximation；Laserstanding 0引言 原子光刻是利用近共振光的辐射压力，使原子束产生空间强度分布，在基板上形成纳米级的条纹、点阵或 人们所需的特定图案【l】。这种新颖的纳米级刻印方法，不需要掩模板，可以大面积刻印[2】，原子具有的较低能 量减小了沉积过程对基片的损坏【31。在近共振激光驻波场中，原子汇聚沉积，形成以激光半波长为周期的光 栅结构，光栅周期性好，