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第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．37,Supp!．2
2008年 5月 RAItEMETALMATERIALSANDENGINEERJNG 2008
May
’ 邹佳丽1，张启龙1，杨辉1，一，孙慧萍1
(1．浙江大学，浙江杭州310027)
(2．浙江大学绿色建材与应用技术工程研究中心，浙江杭州310027)
胶法制各的粉体具有更大的比表面积，使作为粉体烧结驱动力的表面能剧增，促使陶瓷在1200--1350℃实现致密烧结，
GHz(12GHz)。
比固相法合成粉体的烧结温度降低近200℃，并具有优异的介电性能：岛=6．14，Qf=67，500
关键词：微波介质陶瓷；Zn2Si04；溶胶凝胶法；介电性能
中图法分类号：TQl71 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2008)$2-575—04
1 引 言 2实验
微波介质陶瓷是指应用在微波频段(300～300 按照Zn，Si摩尔比为2：1的比例，称取一定量的
GHz)电路中作为介质材料并具有一定功能的陶瓷，
是现代通信技术中的关键基础材料，广泛的用于制造 乙酯溶解在乙醇中，各自溶解搅拌1h；将两者混合2
介质谐振器、滤波器、介质基片、天线等微波器件。 h后静置，80h后形成无色透明的凝胶，在80℃下烘
近年来，微波介质陶瓷一直是国内外研究的热点，主
要研究的微波介质陶瓷体系有ZnTi03，
18 MPa
h，加入10％浓度为5％的PVA溶液造粒，在200
Ba(Mgl／3Nb2／3)03，BaTi409，(Mg，Ca)Ti03，
下压制成直径为18mm，厚度为9蚴的圆片，然后
Ca[(Lil／3Nb2／3)l。Ti，]03-6，(Zr,Sn)Ti04，Lil竹．舯l。．3广
在1200—1350℃保温0．5-2h烧结。
Ti什4徊3等0-n1。随着移动通讯的快速发展，微波介质
陶瓷的应用也向着高频化，低损耗方向发展。Zn2Si04 采用阿基米得排水法测定烧结试样的体积密度。
是一种新型的微波介质陶瓷体系，具有较低的介电常
数，可应用于5．8GHz以上的高频段通信领域，但此 分析仪对于凝胶进行差热．失重分析。用Rigaku
陶瓷体系也存在着一些问题，如采用固相法制备烧 D／max．RA型x射线衍射仪对热处理后的粉末和烧结
kV，管流
结温度高达1400℃以上，烧结温区较窄(50℃以的陶瓷进行物相分析(Cu．／ca射线，管压=36
内)等。 =30
溶胶凝胶法是一种应用的最为广泛的制备粉体的 (Oxford
湿化学方法[12-14】，能够得到比表面积大，活性大的高 MHz～13．5
貌。试样微波性能采用Agilent8719ET(50
纯超细粉体，一些陶瓷体系如Ba6-3xSm8+缸Til80妒
MgTi03，BiNb04【l川71等通过溶胶凝胶法制备，可以介电常数岛和品质因数QXfo
获得粒径小于100nm的超细粉体，烧结温度降低100
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