Cr-DLC薄膜在海水中的电化学及摩擦学特性研究.pdfVIP

第十一届全国摩擦学大会-兰州 Cr-DLC 薄膜在海水中的电化学及摩 有重要意义。本文重点研究分析了 Cr-DLC 的在海 擦学特性研究 水中的电化学特性和摩擦磨损性能，试验在人工配 陈建云 1,2，王谦之 1,2，付俊兴 1,2，周飞 1* 制海水的基础上研究了四种不同盐度（S=29.84‰， 1 南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点 30.04‰，32.37‰，33.01‰ ）下 Cr-DLC 薄膜的耐 实验室，江苏 南京 210016 ； 腐蚀性及 Cr-DLC/Si3N4 对摩副的摩擦学特性。 2南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016 1 实验 *通讯作者：fzhou@ 1.1 试验材料及制备 摘要：采用非平衡磁控溅射的方法在 Si(100) 和 采用闭场非平衡磁控溅射系统（UDP-650,Teer 316L 不锈钢上制备了 Cr-DLC 薄膜。利用扫描电子 Coatings Limited, UK ）在 Si(100) 和 316L 不锈钢表 显微镜 (SEM) 和非接触式三维形貌仪分析了 面沉积了以纯 Cr 作为过渡层的 Cr-DLC 膜，其中中 Cr-DLC 薄膜的表面微观结构及三维形貌；在去离 间层膜厚0.2µm，制备的 Cr-DLC 薄膜所采用的 Cr 子水和不同盐度海水中利用 CHI660D 电化学工作 靶电流为 0.5A，金属掺杂量约 3%，膜厚大约 1µm， 站研究了 Cr-DLC 薄膜的电化学特性，并利用球- 硬度为 12GPa，弹性模量E=160GPa 。 盘摩擦磨损试验机研究了 Cr-DLC/Si3N4 的摩擦学 1.2 试验方法 特性。结果表明 Cr-DLC 薄膜在盐度为 30.04‰的海 根据不同盐度海水中各物质的含量，人工配制 水中表现出最优异的耐腐蚀性。对摩副在海水中的 了四种盐度的海水。在电化学工作站上进行电化学 摩擦系数随盐度的增加先减小后增大(0.072 ～ 测试，采用标准三电极体系，用制备了 Cr-DLC 薄 0.144) ，比在去离子水中的摩擦系数高。但薄膜和 膜的 Si 片进行 Cr-DLC 薄膜的腐蚀特性研究。试验 小球在海水中的磨损率比在去离子水中低，且随海 前，利用导电碳胶将工作电极和铜导线相连，再用 水盐度的增加而增加。 504 硅橡胶将工作电极固封只留下 1cm×1cm 的测试 关键词：Cr-DLC 薄膜；海水；腐蚀；摩擦；磨损； 表面作为工作电极，参比电极为 Ag/ AgCl ，对电极 引言 采用的是 Pt 丝。分别对试样进行了自腐蚀电位、阻 类金刚石薄膜（DLC ）自20 世纪 70 年代问世 抗和极化测试。记录下的开路电压即阻抗的初始电 [1] 压，交流阻抗在自然腐蚀电位下进行，扫描频率范 以来，就以其优异的摩擦学特性 、较好的化学惰 [2,3] -3 5 性以及生物相容性吸引了诸多学者的研究热情 ， 围为 10 Hz～10 Hz ，电压振幅为 10mV，测试后对 而且已经在很多领域得到了广泛应用，如机械加工 结果进行拟合。用动电位扫描法测试极化曲线，扫 和耐磨件[4] 、电子、光学、生物医疗等行业。但是， 描范围从-1V～2V ，扫描速率为 0.00033V/s 。 也有学者的研究表明由于 DLC 薄膜与基材有较大 使用球-盘式摩擦磨损试验机进行摩擦试验，对 的材料特性差异或制备方法的原因导致薄膜的