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CVD法制备纳米金刚石膜的研究进展
何敬晖秦松岩玄真武
北京天地东方超磋材料股份有限公月IC(101$
何敬晖．士，工程师，主要研究i向CVD全刚z细晶柱，声表面波基H等
搞要本文着重研究T化学气相沉积(CYD)浩沉积纳米盎刚石膜的制备工艺，对纳米CVD
盎刚石膜的性能厘特点进行7详细的描进，并对本公司多年来采用CVD法研究纳米盎刚
石膜的工作进展情况及取得的成果作7鞍为系统的舟绍。
一峨 纳米；盒刚石碰；CVl)；徽渡；热丝
film
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He Zhenwu
Jinghui，QinSongyan，Xuan
TinadlOrient Co．，Ltcl，100018
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Ji,*hui，female，graduatedUniversit，of TechnologyBeijing2000，the．ujor
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0前言
作为一个额式的学科．纳米技术的研究越来越引起全世界的瞩目。原因在于当材料的颗粒组成降到几个
到几百个纳米时，其物理、化学性能会发生突变．由此引出一系列新的应用。
众所周知，CVD金刚石具有很好的力学、热学、光学、电毕等性能，目前已经广泛应用于各个领域，
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