新型TCO%2fTOS薄膜的研究进展.pdfVIP

TFC’07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 新型TC㈣S薄膜的研究进展 张群 复旦大学材料科学系上海200433 透明导电氧化物(zco)薄膜和透明氧化物半导体Or《3s)薄膜已经成为平板显 示、太阳能电池和透明电子器件中不可或缺的材料。它们的特点是既具有金属导 电性，又具有可见光范围的透明性，而且其电特性可以通过控制掺杂浓度等实现 从绝缘体、半导体到导体的转变。但是目前为止TCO薄膜均作为单一被动的电 学涂层或光学涂层，即利用其金属导电性和光学透明性，早期的研究目标也都集 中在提高其电导率及其可见光范围的透射率。随着TFT-LCD研究的深入、透明 电子学的出现和发展、以及伴随着太阳能电池光能转换效率提高的强烈需求，对 TCO／TOS薄膜亦提出了更高的要求。不仅要求TCO／TOS薄膜具有低电阻率和可 见光范围的高透明性，而且要求薄膜具有较高的载流子迁移率，或者在近红外光 区域具有更高的透射率。另外，为了实现p-n结等全透明的电子器件，开发和研 究P型TCO／TOS材料也已成为当务之急。 ‘ 举例而言，传统的商用TCO薄膜如rio，当波长大于l岬时，其透射率急 剧下降。这就严重阻碍了近红外区域光线的通过。众所周知，太阳光在可见光范 围(400—700am)的能量只占其全发光波长范围(300—2500am)的43％。太 阳光在紫外区域(309—490nm)的能量为总能量的5％，而在近红外区域的能 量为总能量的52％。如何充分利用近红外区域的太阳光能量，提高太阳能电池的 利用效率，成为人们关注的问题。作者的研究小组发现，采用反应直流磁控溅射 法制备的掺钨氧化铟(IWO)透明导电氧化物薄膜在波长1,690—3，O∞吼之间， 具有远高于ITO薄膜的透射率。初步分析认为，由于W+6六价态离子与in+3三 价态离子之间的价态差为3，使得薄膜的自由载流子浓度在1020cm。3量级，比∞ cm2V-卜S1左右， 薄膜载流子浓度在1021锄。量级低；而载流子迁移率又达到了60 高于m薄膜的载流子迁移率，从而实现了IWO薄膜的低电阻率和包括近红外 区域在内的高透明性。本文将结合作者所在的研究小组在新型透明导电氧化物薄 膜和透明氧／硫化物半导体薄膜研究工作中的阶段性结果，介绍当前TCO／哟S薄 膜的研究状况和发展趋势。