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TFC’07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 压电／压磁声学超晶格材料及其声学效应 陈廷峰 南京大学材料科学与工程系＆固体微结构物理国家重点实验室 南京210093 声学超晶格是一类压电系数周期性调制的微结构铁电材料，其调制的周期在微米量级。 当铁电体中引入与超声波波长可以比拟的调制时，声波在其中的激发和传播过程发生了重要 的变化：由于超晶格的倒格矢参与超声波的动量守恒过程，使得共振增强超声波的激发成为 可能。理论和实验证实这类超晶格具有：1、超高频体波超声激发；2、插入损耗小；3、响 应带宽大大展宽；4、超声功率大等独特的优点，从而能够克服单层体波换能器的缺点。 本研究发展了压电／压磁声学学超晶格的理论和实验：该材料由压电和压磁薄膜交替生 长而成，可以看作压电和压磁的复式超晶格。当电磁场与这种超晶格相互作用时，由于电磁 场包括电场和磁场矢量，因此，超晶格显示了新的特点。从理论上，研究了电磁波中电场与 磁场分别与压电、压磁超晶格耦合的动力学，指出，由于电场和磁场同时激发了超晶格振动， 因而产生了两种宏观激化激元，而两个激化激元通过超晶格振动发生耦合，完全改变了原来 各自的特征。材料上，利用磁控溅射方法制备了ZnO(压电)、CoFet0。(压磁)薄膜交替生长的 压电／压磁多层膜超晶格(周期为300nm，周期数5—15)。效应方面，研究了超晶格的激发，实 验发现，同一个超晶格可以实现两个谐振频率声波的激发，这两个频率分别对应于电场激发 的纵振动(对应于约20GHz)和磁场激发的横振动(约10GHz)，当周期一定，周期数变化时， 谐振频率保持不变。理论和实验证明了压电／压磁超晶格作为一种新的声学超晶格材料具有 重要的应用前景。 声学超晶格材料同时具有新颖的弹、压、介电、磁电性能和电光、声光、磁光、非线性 光学效应，因而可同时实现多个物理过程的耦合，具有丰富的物理效应；声学超晶格的微结 构使得人工设计这些耦合过程的能量转移和动量守恒过程成为可能，为优化体波声学和压电 器件的性能开辟了新的途径；在应用上，声学超晶格具有的高频，宽带和多物理过程耦合的 特点可满足通讯、信息处理高速化，大容量化对器件的要求。因此，基于声学超品格材料的 声电子、磁电子和光电子器件具有十分重要的应用前景。 Zhu，Jun Chen,and 69, Xue-3ingZhang，Ran-QiZhao，Yan-FengYong-YuanZhu，Phys．Rev．B (2004)085118 Chert,and Xue-jhagZhang，Yan—qing Zhu，Yan-feng Lu，Yong-yuan Shining Left．85，(2004)3531—3533 Hui Chen,Nai—Ben Liu，Shi-NingZhu，Zheng—GaoDong，Yong-YuanZhu，Yan-Feng Zhang，Phys。Rev。B7I，(2005)丑25106 Hui Chen,Nai—Ben Liu，Shi-NingZhu，Zheng—GaoDong，Yong—YuanZhu,Yan-Feng Zhang，AppL Phys．Lett．86，(2005)102904 Jun Zhao，Tian Zhu, Fan，Ming-HuiLu，Ruo—ChengYm，Cho-LingDu，Yah—Feng C