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响应曲面法对三氯氢硅精馏工艺的优化.pdf
第42卷 第 1期 北京化工大学学报 (自然科学版) Vo1.42.No.1
2015芷 ’ JournalofBeijingUniversityofChemicalTechnology(NaturalScience) 2015
响应 曲面法对三氯氢硅精馏工艺的优化
李群生 王翔宇
(北京化工大学 化学工程学院,北京 100029)
摘 要:使用 AspenPlus模拟了三氯氢硅粗馏的三塔精馏过程,在 Aspen单因素优化的基础上,利用统计学范畴的
响应 曲面法 (RSM)进一步处理 ,探究了预分离塔和三氯氢硅塔 的理论板数、进料位置 、精馏采 出、回流 比等关键参
数对于产 品组成 的综合影响,拟合 了二项式数学模型,并按照不同权重给出了流程 的参数组合 。结果表明,以响应
曲面法对流程进行优化较单因素优化可节能25.4%,对产品质量达标的方案可节能29.9%,对产品质量最优的方
案可节能21.9%,优化效果 良好。
关键词 :响应 曲面法 ;三氯氢硅 ;精馏 ;优化
中图分类号:TQ127.2
料组成。预分离塔主要用于脱除包括三氯化硼、二
引 言
氯二氢硅、氯化氢等沸点低于三氯氢硅 的物质。其
改 良西 门子法生产多晶硅 的流程中,三氯氢硅 中三氯化硼与三氯氢硅沸点相近 ,脱除难度较大 ,并
的精馏过程作为主要 的分离步骤 ,对下游产 品质量 且微量的三氯化硼即可对多晶硅产品的性能造成很
有非常重要的影响… 。 大影响,脱除要求较高 ,因此预分离塔主要任务是将
工业上对于三氯氢硅精馏过程的工艺已有了较 三氯化硼脱除。三氯氢硅塔塔顶采 出三氯氢硅产
完备的研究。如黄 国强等 考察 了热泵精馏技术 品。要求经过精馏过程 ,三氯氢硅塔产 品中SiHCI
在三氯氢硅精馏过程 中的应用 ;Dfez等 进一步讨 质量分数大于99.95%,BCI质量分数小于 1×10~,
论了单热泵 、双热泵等不 同流程 的效果 ;VanDuc PCI质量分数小于5×10一,进料量6100kg/h。
Long等 利用响应曲面法研究了隔板塔对三氯氢
硅精馏过程的节能效果;Sangal等 则讨论了隔板
塔结构参数与操作参数 的优化 ;杨亚君等 提出了
三塔流程取代两塔流程 的工艺 ;李群生等 对两塔 △
流程进行 了单 因素模拟优化。响应 曲面法 (RSM)
作为一种有效的优化方法 ,可以克服单因素优化的
局限 ,但至今未用于应用广泛的一般板式塔 的
模拟优化。
本文在 Aspen单因素优化的基础上 ,采用 RSM 预塔 三氯化硅塔 四氯化硅塔
对三塔流程的预分离塔 、三氯氢硅塔各项参数进行
图 1 三塔工艺流程
了处理,探究了各参数及其交互作用对于产 品质量
Fig.1 Threecolumnprocessfordistillationoftrichlorosilane
与能耗 的影响,优化效果较为明显。 表 1 进料组成
Table1 Feeddatafortrichlorosilanedistillation
1 三氯氢硅精馏工艺流程
图1为三氯氢硅精馏三塔工艺流程 ,表 1为进
收稿 日期 :2014—03—27
基金项 目:国家 “973”计划 (2013CB733603)
第一作者 :男,1963年生 ,教授
E—mail:liqs@ mail.buct.edu.Cll
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