- 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
化学气相沉积技术的应用与发展.doc
化学气相沉积技术的应用与进展
一、化学气相沉积技术的发展现状
精细化工是当今化学工业中最具活力的新兴领域之一,是新材料的重要组成部分现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺人某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。化学气相沉积(Chemical vapor deposition,简称CVD)是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的积过程精确控制。CVD技术所制备的材料不仅应用于宇航工业上的特殊复合材料、原子反应堆材料、刀具材料、耐热耐磨耐腐蚀及生物医用材料等领域,而且还被应用于制备与合成各种粉体料、新晶体材料、陶瓷纤维及金刚石薄膜等。
二、化学气相沉积技术的工作原理
化学气相沉积是指利用气体原料在气相中通过化学反应形成基本粒子并经过成核、生长两个阶段合成薄膜、粒子、晶须或晶体等固体材料的工艺过程。它包括5个主要阶段:反应气体向材料表面扩散;反应气体吸附于材料的表面;在材料表面发生化学反应;生成物从材料的表面脱附;(5)产物脱离材料表面。
目前CVD技术的工业应用有两种不同的沉积反应类型即热分解反应和化学合成反应。它们的共同点是:基体温度应高于气体混合物;在工件达到处理温度之前气体混合物不能被加热到分解温度以防止在气相中进行反应。
三、化学气相沉积技术的特点
化学气相沉积法之所以得以迅速发展,是和它本身的特点分不开的,与其他沉积方法相比,CVD技术除了具有设备简单、操作维护方便、灵活性强的优点外,还具有以下优势:
(1)沉积物众多,它可以沉积金属、碳化物、氮化物、氧化物和硼化物等,这是其他方法无法做到的;
(2)能均匀涂覆几何形状复杂的零件,这是因为化学气相沉积过程有高度的分散性;
(3)涂层和基体结合牢固;
(4)镀层的化学成分可以改变, 从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层;
(5)可以控制镀层的密度和纯度;
(6)设备简单,操作方便。
随着工业生产要求的不断提高,CVD的工艺及设备得到不断改进,但是在实际生产过程中CVD技术也还存在一些缺陷:
(1)反应温度较高,沉积速率较低,难以局部沉积;
(2)参与沉积反应的气源和反应后的余气都有一定的毒性;
(3)镀层很薄,已镀金属不能再磨削加工,如何防止热处理畸变是一个很大的难题,这也限制了CVD法在钢铁材料上的应用, 而多用于硬质合金。
四、化学气相沉积技术的应用
1、
超细粉表面积大, 烧结温度降低,可以使其成为一种有效的烧结添加剂。如氮化铝是一种非常重要的高导热陶瓷,做成集成元件的基板取代现有的基板材料,可以提高导热率,从而可以解决当集成元件的集成度提高时所带来的热难以迅速散发出去的问题。但是,氮化铝的稠密烧结非常困难,需靠添加氧化物烧结剂来使氮化铝稠密烧结,大量添加氧化物会使氮化铝中第二相增多,反而降低整体的导热率。添加5%~10%
2、
由于现代科学技术对无机新材料的迫切需求,晶体生长领域的发展十分迅速。化学气相沉积法不仅能极大改善某些晶体或晶体薄膜的性能,而且还能制备出许多其他方法无法制备的晶体,由于化学气相沉积法具有设备相对简单,操作方便,适应性强的特点, 因而成为无机新晶体主要的制备方法之一,广泛应用于新晶体的研究与探索。CVD最主要的应用之一是在一定的单晶基体上沉积外延单晶层。最早的气相外延工艺是硅外延生长,其后又制备出外延化合物半导体层。气体外延技术亦广泛用于制备金属单晶薄膜及一些化合物单晶薄膜。
3、
梯度功能材料是为了适应未来新技术、新设备发展的需要,在80年代后期发展起来的一类组成、结构与性能呈连续变化的高性能材料。首先在航空、航天领域中获得了系统的研究和实际应用。随着科学技术的进步及相关工业的发展,在机械工程的设计、制造中也普遍采用了梯度功能材料。目前的梯度功能材料制备方法有粉末铺层法、薄膜沉积法、CVD法、等离子喷涂法、自蔓延燃烧法等。在这些方法中,由于CVD 能按设计要求精确地控制材料的组成、结构和形态,并能使组成、结构与形态从一种组分到另一种组分连续变化,无需烧结等处理即可制备出致密的、性能优异的梯度功能材料,因而倍受人们的重视。目前,已用CVD方法成功地制备出碳—碳化硅、碳—碳化钛、碳化钛—碳化硅等体系的梯度功能材料。
五、几种新型化学气相沉积技术
1、金属有机化合物化学沉积技术( MOCVD )
MOCVD的发展是半导体外延沉
您可能关注的文档
- 利用函数的单调性求参数范围.doc
- 利用同序异尾限制内切酶.doc
- 利用多媒体信息技术,促进高中思想政治教学.doc
- 利用多媒体对幼儿进行安全意识教育.doc
- 利用多媒体提高化学课堂教学实效性.doc
- 利用媒体教学转变学生学习方式的策略.doc
- 利用学案导学,提高化学学习的高效性.doc
- 利用导数求函数的单调区间.doc
- 利用工业废渣及粉煤灰可行性报告.doc
- 利用数学推理法掌握生态系统能量流动的基本规律.doc
- 国际标准 IEC 61169-47:2015 EN Radio-frequency connectors - Part 47: Sectional specification for radio-frequency coaxial connectors with clamp coupling, typically for use in 75 Ω cable networks (type F-Quick) 无线电频率连接器 - 第47部分:用于无线电频率同轴连接器的部分规范,.pdf
- 国际标准 IEC 61158-5-17:2007 EN 工业通信网络 - 现场总线规范 - 第5-17部分:应用层服务定义 - 类型17元素 Industrial communication networks - Fieldbus specifications - Part 5-17: Application layer service definition - Type 17 elements.pdf
- 国际标准 IEC 61158-5-17:2007 EN Industrial communication networks - Fieldbus specifications - Part 5-17: Application layer service definition - Type 17 elements 工业通信网络 - 现场总线规范 - 第5-17部分:应用层服务定义 - 类型17元素.pdf
- 国际标准 IEC 60939-2-2:2004 EN_D 完整抑制无线电干扰滤波器单元-第2-2部分:空白详细规范-用于抑制电磁干扰的被动滤波器单元-仅需进行安全测试的滤波器(安全测试) Complete filter units for radio interference suppression - Part 2-2: Blank detail specification - Passive filter uits for electromagnetic interference .pdf
- 国际标准 IEC 60939-2-2:2004 EN_D Complete filter units for radio interference suppression - Part 2-2: Blank detail specification - Passive filter uits for electromagnetic interference suppression - Filters for which safety tests are required (safety.pdf
- 国际标准 IEC 60670-23:2006 EN-FR Boxes and enclosures for electrical accessories for household and similar fixed electrical installations - Part 23: Particular requirements for floor boxes and enclosures 家用和类似固定电气安装用电器配件的盒子与封闭装置——第23部分:地板箱和封闭装置的要求.pdf
- 国际标准 IEC 60670-23:2006 EN-FR 家用和类似固定电气安装用电器配件的盒子与封闭装置——第23部分:地板箱和封闭装置的要求 Boxes and enclosures for electrical accessories for household and similar fixed electrical installations - Part 23: Particular requirements for floor boxes and enclosures.pdf
- 2024版完整的货物运输合同书.doc
- 2024版无财产的离婚协议书书模板.doc
- 2024版委托融资租赁合同书书.doc
文档评论(0)