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1．为什么说变间隙型电容传感器特性是非线性的?采取什么措施可改善其非线性特征?
答：下图为变间隙式电容传感器的原理图。图中1为固定极板，2为与被测对象相连的活动极板。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，两极板间的距离d发生变化，从而改变了两极板之间的电容量C。
设极板面积为A，其静态电容量为，当活动极板移动x后，其电容量为 (1)
当xd时 则 (2)
由式（1）可以看出电容量C与x不是线性关系，只有当 xd时，才可认为是最近似线形关系。同时还可以看出，要提高灵敏度，应减小起始间隙d过小时。但当d过小时，又容易引起击穿，同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的物质来改善这种情况，如下图2。在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性，还常采用差动式结构
图中所示为差动结构，动极板置于两定极板之间。初始位置时，δ1＝δ2＝δ0，两边初始电容相等。当动极板向上有位移Δδ时，两边极距为δ1＝δ0－Δδ，δ2＝δ0＋Δδ；两组电容一增一减。同差动式自感传感器式（3－41）的同样分析方法，由式（4－4）和式（4－5）可得电容总的相对变化量为
（4－11）
略去高次项，可得近似的线性关系
（4－12）
相对非线性误差为
（4－13）
上式与式（4－6）及式（4－9）相比可知，差动式比单极式灵敏度提高一倍，且非线性误差大为减小。由于结构上的对称性，它还能有效地补偿温度变化所造成的误差。
2.如图3-22所示正方形平板电容器,极板长度a=4cm,极板间距离δ=0.2mm.若用此变面积型传感器测量位移x,试计算该传感器的灵敏度并画出传感器的特性曲线.极板间介质为空气,。
解：这是个变面积型电容传感器，共有4个小电容并联组成。
/pF
(x的单位为米)
/pF
图1 变间隙式电容传感器
图2 板间放置高介电常数材料
图3 差动式传感器
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