氧化锌半导体纳米线横向电极结构与光电探测器及应用.pdfVIP

第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会 氧化锌半导体纳米线横向电极结构 与光电探测器的应用 盛赞1，孙华斌1，潘力嘉1，濮林1，徐春祥2，施毅1，郑有蚪1 1．南京大学电子科学sI程学。江苏省光电功能材料重点实验室； 2．东角大学电子I程系．南京210093 纳米线为例的纳米材料开创了不同于传统微加工的自下而上的工艺概念，并 且紧跟摩尔定律的历史发展趋势。高质量的半导体纳米线提供了一种装配高集成 度光电子器件的新颖而有潜力的途径。值得注意的是，有可能在同一个工艺平台 上混合集成不同种类纳米材料，如氧化锌、氮化镓、硒化镉、磷化铟等。从而所 构造的光电探测器和激光器的工作光谱段可以覆盖紫外到近红外。其中，氧化锌 纳米线一直是研究的热点。因独特的性能，科学界对其在光电子器件方面的应用 抱有很高的期待。直至今日，已经有一些新颖的纳米线器件被报道。原理上，为 获得高性能的光电子器件，载流子在纳米线界面的有效收集和注入是必要的。 我们的工作是氧化锌纳米线横向电极结构的制作，以及基于这个结构下紫外 光电响应器件的实现。通过电化学选择氧化反应生成绝缘层的新方法的基础上， 系统研究工艺条件对纳米线、绝缘层物理性质等的影响特征，获