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氮化钛基超硬纳米复合工具膜的研究进展
蔡飞,张世宏,李明喜
安徽工业大学材料科学与工程学院,安徽马鞍山,243002
摘要:刀具涂层技术是一种新型的纳米表面涂层技术。论述了近年来氮化钛基A1TiN和TiAlSiN超硬纳米
复合工具膜的研究进展。首先,讨论了工艺参数对单一TiAlN薄膜的影响,比较了梯度和纳米多层A1TiN
薄膜的优点,总结了后处理如退火在调整薄膜应力、结构和性能方面的研究;其次,分析了超硬TiAlSiN
纳米复合膜在si元素固溶机制以及多弧离子镀技术制备超品格纳米复合膜方面的最新研究进展。最后,展
望了氮化钛基超硬纳米复合工具膜未来的研究方向。
关键词:工具膜,A1TiN和TiAlSiN薄膜,退火,超品格
1引 言
现代化的金属切削加工需求刀具有高切削速度、高进给速度、高可靠性、长寿命、高精
度和良好的切削控制性能。涂层技术是使刀具实现这些优异性能的一种技术。所谓涂层技术
是指在切削刀具,模具表面涂覆上一层硬质薄膜来提高其耐磨性以达到增加其使用寿命的结
果,这种硬质涂层不但具有很高的硬度,而且还有其他一些优越的性能如抗高温氧化性、抗
腐蚀性、低的摩擦系数。这些优点使涂层在很大程度上提高了切削刀具的寿命,降低了维修
费用,减少了因刀具失效所导致的停车时间。而对于一些贵重刀具,由于可以多次涂层,增
加了其重复使用性,降低了使用成本,具有很大的经济效益u。。
目前用的最广泛的是TiN涂层,发达国家TiN高速钢涂层刀具的使用率超过了高速钢
刀具的50%。但是传统的TiN涂层由于较低的硬度和差的抗氧化性能限制了其在苛刻条件下
的应用旧。。近些年来大量研究致力于TiN涂层性能的改进,如加入C、B和A1、si、Cr、W、
V等元素分别部分取代N和Ti原子使其合金化以提高TiN涂层的硬度、耐磨损性以及抗氧
化性能。目前国外涂层的结构从单元、多元单涂层向多元多涂层和纳米复合涂层发展,与国
外成熟的涂层技术相比,我国在涂层的理论研究以及技术应用方面仍相对薄弱,因此对纳米
多层膜和复合硬质薄膜涂层的研究,具有十分重要的科学和经济意义。本文从A1TiN和
TiAlSiN硬质纳米复合膜介绍了TiN基超硬纳米复合工具膜的研究。
2 A1TiN和TiAlSiN硬质薄膜的研究现状
1.2AITiN薄膜的研究现状
的兴趣。过去的二十多几年,大量的研究就TiAlN薄膜的结构和力学性能开展了大量的研究。
薄膜制各过程中,沉积工艺参数对薄膜结构和性能具有重要的影响。T.Zhou。41等人通
过磁控溅射制备(Ti,A1)N薄膜并且研究了氮气分压对其硬度的影响。研究结构发现:薄膜
值最大时,其硬度和弹性模量分别达到43.4GPa和430.8
GPa。他们将这种高硬度值归咎
297
于薄膜中品粒的细化以及(111)向(220)的转变。~般来说(111)而是立方结构中的密排面,
具有最低的能量,位错在此密排面最容易滑移,而在非密排面的(220)面则滑移较难。所以
随着(220)峰强度的增加,需要更大的能量使得位错开启,薄膜的硬度增加。
Sheng—ShengZhao!副等人通过离子镀技术在2024
A1/SiCp基体上沉积成厚达60um的
TiAIN涂层。他们的研究结果表明涂层的沉积速率随着氮气流量从100sccm增加到250sccm
时发生下降,同时薄膜与基体的结合强度发生下降,而涂层的硬度则呈现上升的趋势。他们
在沉积过程中通过逐渐改变氮气流量,梯度改变薄膜中薄膜的成分和结构,使得薄膜从基体
到表面的力学性能依次改变,成功沉积制备出厚度高达60uIll的薄膜。
单一的TiAIN薄膜越来越难满足苛刻的加工条件,大量研究就薄膜的结构进行精细加
工,形成多层结构,其与单一薄膜相比,表现出更优异的加工性能。这种性能的改变得益于
薄膜的多层化,降低了薄膜中的应力,改善了其热稳定性尤其是在高温情况下的硬度。Yin-Yu
Chang等Ⅲ1人研究了(Ti。,Al。)N多层薄膜,他们的研究结果表明薄膜的晶粒尺寸随着Al含量
的增加而减少,梯度薄膜的硬度比多层薄膜的硬度高,这个主要是因为前着比后者具有更高
的内应力。多层化的A1。。,Ti。。。N/TiN的界面使得薄膜部分内应力释放,干式铣削试验结果
表明这种具有低的内应力
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