混合基含钪扩散阴极微观结构和性能研究.pdfVIP

第! 卷# 专辑# 稀# 有# 金# 属 = 年 月 $%’ !# ()*+’ ,--.* /0,12(2 3456178 49 6762 :2;78( ?*+’ = 混合基含钪扩散阴极微观结构与性能研究! ! 李莉莉，王金淑 ，赵# 雷，刘# 伟，王亦曼，周美玲 （北京工业大学材料科学与工程学院教育部先进功能材料重点实验室，北京 ） 摘要：为了获得发射性能优异，均匀性良好的热电子发射阴极，本文采用液@液掺杂结合两步氢还原法制备出氧化钪掺杂钨 粉，并在此基础上通过压制、烧结和浸渍工艺制备出浸渍型扩散阴极。采用(2: 、电子发射测量装置和72( 对阴极微观结 构、发射性能和激活期间阴极表面活性元素的变化进行了研究。研究结果显示：阴极孔度合适，孔结构良好，孔分布均匀， 颗粒达到亚微米级。该阴极的发射测试结果显示在AB C D 时!EFG 为B 7 ·+H I 。分析认为阴极的亚微米结构有利于激活和 工作过程中活性物质的扩散和在表面的均匀分布，对阴极的发射起促进作用。 关键词：含钪扩散型阴极；液@液掺杂；亚微米结构；表面分析 中图分类号：4J=# # 文献标识码：7# # 文章编号：BA I KK= （= ）I I B # # 近 年来，随着现代电真空微波器件向着高 掺杂N 粉（其中(+ 4 质量百分比为!O （质量分 ! 频率、大功率方向发展，对阴极的要求也越来越严 数））。所得掺杂钨粉经压制、烧结工艺制得孔度约 格［ L J ］。含钪扩散型阴极由于具有优异的热电子发 =O （排水法测得开孔孔度）多孔钨基体，将基体 射性能，且工作温度比“: ”型阴极低 L B C D 在=B C 高温下浸渍活性物质“J ”铝酸盐（PQ4 （亮度温度），因此被认为是唯一能够能达到高功 R /Q4R 7 4! 的摩尔比为J R R ），再经后续水 率微波器件所要求电流密度的阴极［B L K ］。但是，含 洗、退火工艺得到混合基含钪扩散型阴极（以下简 钪扩散阴极也存在着发射不均匀，抗离子轰击性 称(! ）。 能差的问题［K ］。研究表明，影响这些问题的根本原 利用0,;7/0,@!B1 型扫描电镜（,1/7 能谱 因是钪不能充分扩散到阴极表面从而形成表面发 仪）对阴极进行了微观形貌观察和能谱分析。在自 ［A ］ 射活性层 。本课题组前期工作从改善海绵体的 行设计的电子发射测量仪上对阴极的热电子发射 微观结构入手，采用溶胶凝胶法制备出了亚微米 能力进行了测试。利用S0,@BB 型俄歇电子能谱分 级氧化钪均匀掺杂钨粉，并通过合适的浸盐工艺， 析仪对阴极进行原位加热，研究阴极加热和激活 初步获得了性能较为优 良的钪钨基浸渍型阴 过程中活性物质的扩散和变化规律，测试的电子 极［M ， ］。 枪高压为!’ T$ ，电子束流’ !7 ，分析室真空 本论文延续上述工作，从阴极的微观结构和 度不低于 U I = SQ 。在S0,@K 型高分辨扫描俄 表面层活性物质构成出发，具体探讨了亚微米结 歇电子能谱分析仪上对阴极表面微区的氧化钪分 构对于含钪扩散型阴极氧化钪的分布和发射均匀 布进行分析，测试的电子枪高压为 T$ ，能量分 性提高的作用。 辨率V O ，分析室真空度不低于B U I K SQ 。 # 实# 验 # 结果与讨论 将氧化钪以硝酸钪的形式引入到钨的前驱物 ’ # 阴极的微