微系统动力学的研究的一些新进展.pdfVIP

应 用 力 学 进 展 微系统动力学研究的一些新进展 赵亚溥 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室．北京100080 摘要 简要总结近年来在微系统力学研究方面的主要进展，包括： derWaMs (1)表面力(van 动力学行为的影响； (2)在MEMS粘着接触失效、抗粘着方面的研究进展，包括：力学模型、自 组装单分子膜(SAMs)在抗粘着方面的应用、生物粘着的模型建立和分子动力学模拟等；(3)若干 MEMS器件中的力学问题；(4)纳／微系统中的稳定性分析等． 关键词 微系统表面效应，动力学，粘着，抗粘着，生物粘着，稳定性，相似分析 前言 快速的发展．微系统为一典型的多场耦合问题，由于其特征尺度一般在亚微米一百微米量级， 具有很大的表面积和体积比，所以其关键科学问题是“尺度效应”和“表面效应”．近年来，特 分子马达、分子开关等)，纳系统和分子机器等成为高技术的重要前沿．例如，美国加州理工学 NEMS的微梁技术，使秤重的精度达到阿克(1008g) 在系统的微型化和纳型化中不可避免地遇到很多传统连续介质力学不能解释的问题．在 Oil 中(见： Small the fieldof machines，largeopportunities：Areport emergingmicrodynamics． NSF OFt ofthe Microelectromechanical Report Workshop Systems 就强调了‘嚯＆动力学”的建立对微系统产业化重要的推动作用．当前纳／微系统的一个重要 合(fusion)关于力学在纳米科技以及纳／微系统中的不可替代的作用，诺贝尔物理奖获得者 Heinrich Rohrer教授(STM的发明人之～)明确指出，“人类正在迎来纳米力学新时代”，“力学， 特别是纳米力学(在当代科技中)的整体重要性将和微电子想媲美．”因此，发展纳／微系统的 力学理论将对纳／微系统的设计、制备和运行产生重要的推动作用． 本课题组近年来主要针对MEMS中的表面效应开展工作，本文将总结近年来所取得的～ 些相关研究进展情况． “973”项目(G1999033103)赉助 赵亚溥t微系统动力学研究的些新进展 1纳／微系统中的表面效应与表面力 为什么要研究纳／微系统中的表面效应?上面谈到，这是由于纳／微系统具有很大的比表 面积．表面与界面是材料物理、化学性质发生空间突变的二维区域，材料的许多重要物理、化学 过程首先发生在表面，同时材料的很多破坏和失效也首先起源于表面和界面．和体内原子比， 表面上的原子多缺少一个或数个近邻原子，配位不足，有大量的悬键(danglingbonds)或不饱 和键存在(对于软物质而言为悬链)．单位面积上的悬键数目(悬键面密度，对于si的(100)面 来说，悬键面密度约136xi0”／cm2)具有莺要意义．例如，从这个数目可以测表面能的大小 从能量的角度考虑，表面上原子排列必须产生畸变，保持一定形变，减少悬键，以便达到能量 最低的稳定性．所以表面原子排列与体内原子排列常有很大差异．表面原子排列畸变的两大类 为：驰豫(relaxation)和重构(reconstruction)． 纳／微系统的表面效应的来源可以总结如下：(1)表面的原子数和内部的原子数可比；(2) 的失效模式。另外，表面粗糙度对MEMS的行为也有着重要的影响． 扫描探针技术的问世，可以说是上世纪末表面科学技术领域一项具有划时代意义的重要成 就，它使人们对材料表面物理化学过程的认识和控制进入到原子量级水平，这一技术的出现， 极大地摊动了表面科学技术的发展．例如，利用扫描隧道显微镜(STM)实现了si表面结构和 缺陷的直接观察，与LEED和理论计算相结合确定了si的表面结构．电荷密度波是材料中对