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5双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究.pdf
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: 100 1- 2265( 20 10) 09- 0030- 04
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双边驱动精密 XY 运动平台解耦控制研究
赵冶, 朱煜, 杨开明, 潘尚峰
( 清华大学 摩擦学国家重点实验室, 北京 100084)
: 针对具有非对称结构的直线电机驱动精密XY 运动平台, 为 高 Y 向双边同步运动控制性能,
采用解耦补偿器和输出变换矩阵的方法获得了精密XY 运动平台 Y 向解耦控制, 并采用相对增益矩
阵( RGA) 定量分析了解耦性能同时考虑到X 轴位置变化, 将解耦补偿器和输出变换矩阵设计成与
X 轴滑块位置参数相关的, 从而实现参数变化解耦控制运动平台控制仿真结果表明, 该控制策略
实现了两变量平动和转动的解耦控制, 可以较好地完成双边同步控制
: 双边驱动; 精密XY运动平台; 解耦控制; 参数变化系统
: TH 122 : A
Decoupling Control of an H-drive precision XY Stage
ZHAO Ye, ZHU Yu, YANG Ka-im ing, PAN Shang-feng
( The State Key Laboratory of Tribology, T inghua Un iver ity, Be ijing 100084, Ch ina)
Abstract: In order to get excellent ynchronization form otion control of theH-drive preci ion XY tagew ith
a ymm etric tructure driven by linear m otor , decoup ling con trol of the H-drive prec i ion XY tage w a de-
igned by decoupling com pen ator and output tran form ation m atrix. Relative gain array ( RGA) w a u ed
to m ea ure the interaction . Be ide , the decoup ling com pen ator and outpu t tran form ation m atrix m u t be
param eter-vary ing w ith po ition of x- lide. The re ult of the mi u lation how that the decoupling control
tructure can acqu ire good track ing property and effectively re train the force d i turbance of the H-drive.
K ey words: H-drive; preci ion XY tage; decoupling control; param eter-varying y tem
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