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功率谱密度的数值计算方法X.pdf
第 12 卷 第 6 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 12, . 6
V o l N o
2000 年 11 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S N ov. , 2000
( )
文章编号: 1001- 4322 2000 06- 0661- 04
功率谱密度的数值计算方法
1 1 1 2 2
张蓉竹 , 蔡邦维 , 杨春林 , 许 乔 , 顾元元
( 1. 四川大学光电系, 成都 610064; 2. 成都精密光学工程研究中心, 成都 610041)
摘 要: 采用功率谱密度 PSD (Pow er Spectral D ensity) 作为大尺寸光学元件表面质量
的评价标准, 对其定义及计算普适公式及方法进行了详细的分析推导, 给出了被测样品的计算
结果, 并就在不同条件下计算平均 PSD 的方法和结果进行了分析比较和讨论。
关键词: 大尺寸光学元件; 功率谱密度; 傅立叶变换
中图分类号: O 437 文献标识码:A
高功率固体激光器系统作为惯性约束聚变 ( ICF ) 的驱动器, 其间使用了大量的各类大口径光学元
件, 如美国的国家点火装置( ) 就使用了上千块不同类型的光学元件。对这些元件的表面加工质量进
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行评价是保证整个系统安全、正常运行的关键, 也是获得高质量激光光束的前提条件。 值、 —
RM S P V
值、 多项式等都是常用的评价标准, 然而在实际应用中发现, 对于非圆形大口径光学元件, 尤其
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( ) [ 2, 3 ]
是在中频段范围 空间波长大于 0. 12 小于 33 内它们使用起来都存在有一定的问题和困难 。
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而据近几年的研究表明, 功率谱密度(Pow er SpectralD en sity) 是一项很好的评价标准, 它具有以前所使
用的传统评价指标所缺乏的定量化的频谱描述功能, 能提供丰富的波前误差频谱信息, 特别适于作为大
尺寸光学元件表面质量的评价。本文分别对W YKO 24 干涉仪和W YKO 粗糙仪测试样品的波前位相
数据计算出 PSD 曲线, 并确定了平均 PSD 曲线计算所需的采样线数。
1 功率谱密度的定义
如果 ( ) 是一个可以进行傅立叶变换的函数, 则
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