000032金属微塑性成形中的尺度效应与其数值模拟技术.pdfVIP

ReV繁1ew 金属微塑性成形 中的尺度效应及其数值 模拟技术 李 雷 ’2,3，谢水生 ’，米绪军 ’，曹建 国。 1．北京有色金属研究总院，有色金属材料制备加工国家重点实验室，北京 100088 2．河南理工大学材料科学与工程学院，河南焦作 454000 3．海亮集团有限公司浙江海亮股份有限公司，浙江诸暨311814 擅要 介绍了金属微塑性成形过程中的两类尺度效应，即 “越小越弱”和 “越小越强”，探讨了产生不同尺度效应的原因；介绍了能够 反映尺度效应的物理模 型及相应的数值模拟技术 。指出了各类模型和数值技术面临的困难 。预测 了该研究领域的发展方向。 关■词 微塑性成形；尺度效应 ；应变梯度塑性理论 ；位错 ；数值模拟 ；MEMS 中圈分类号 TG301 文献标识码 A 文章■号 1000—7857(2008)01-0076-04 SizeEffectsinM etalM icroforming KIw mieroforming；size effects；strain rgadientplasticity； dislocation；numericalmodeling；MEMS ProcessesandRelatedNumerical M odelingTechniques LILei，XIEShuisheng，MIXujun，CAOJianguo O引言 微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystem，MEMS)中 1．StateKeyLaboratoryforFbaricationandProcessingof 需要大量 的微金属构件 ，如微梁 、微齿轮和微 电机等 ，这类特 ^0『 17011~Metals，GeneralResearchInstitutefor 征尺寸在微米量级金属构件的压力加工技术 。即微塑性成形 ^0『 17011~Metals，Be~iing100088,China 技术 。传统的微成形技术是由微电子工业的二维成形技术发 2．InstituteofMaterialsScienceandEn~neerinHenan 展而来 ，如体硅微加工技术和表 面微加工技术m，这两种技术 PolytechnicUniversity,Jiaozuo454000,HenanProvince， 只能实现二维成形 ，无法实现几何深宽 比大的构件的成形 ， China 也不 能对金 属材 料 加工 。后 来 发 展 的 LIGA(Lithorgaphic 3．ZhejiangHailiangCo．Ltd．，HailiangGroupCo．Ltd,Zh~ji GalanoformungandAbformung)技术[1可实现对某些金属材料 311814,ZhejiangPrvoince，China 的三维微成形 ．但不能实现 Z方向的弯曲或阶梯状等不规则 ,trip．met Sizeeffects，inevidenceinmetalmieroformingprocesses， 形状 ，且工艺复杂、成本高。由于其金属构件的成形过程实质 eitherin foriB of ”smalleriSweaker”orin oftillof ”smalleriS 上是一个 电镀过程 ，故只能实现对少数金属的成形 ，难 以加