单畴钇钡铜氧块材高Q值谐振腔的研究.pdfVIP

　第 16 卷 　第 1 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ,No. 1 　 　2004 年 1 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Jan. ,2004 　 文章编号 : (2004) 单畴钇钡铜氧块材高 Q 值谐振腔研究 1 2 2 2 沈旭明 , 　王家素 , 　宋宏海 , 　郑 　郡 ( 1. 中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 四川 绵阳621900 ; 2 . 西南交通大学 超导技术研究开发中心, 四川 成都 610031) ( ) 　　摘 　要 : 　在对高 Q 值的微波谐振腔的研究中 , 尤其是对低温超导谐振腔 超导铌腔 的研究取得了很大 的进展 ,生产加工技术也日趋成熟 ,而用高温超导材料来制备高 Q 值的谐振腔还不成熟。从高温超导体的表 面电阻 ,生成方法 ,物质的微观结构等方面进行分析 ,实验中 ,通过一个端面用单畴 YBCO 块材代替无氧铜 ,在 50 K 时谐振腔 Q 值就增加到原来的 5 倍 ,在 20 K 时全部用单畴 YBCO 谐振腔 , Q 值有望达到铜腔的 70 倍 ,谐 振腔的性能有明显的提高。 　　关键词 : 　高温超导 ; 　微波谐振腔 ; 　微波表面电阻 　　中图分类号 : 　TN752 　　　　文献标识码 : 　A 　　由于对高性能滤波器、低相位噪声振荡器以及加速器研究的需要 ,人们为获得更高 Q 值的微波谐振腔进 行了艰苦的探索。X 波段铜微波谐振腔在室温下的 Q 值只能达到约 104 ;低温超导铌腔在 X 波段和 4. 2 K 温 6～7 11 ( 9 ) 度时的 Q 值为 10 ,在 X 波段和 1. 25 K温度时 Q 值达到约 10 ,用高 Q 值 10 量级 低温超导微波谐振腔 在 X 波段可以实现了 10 - 17频率稳定度。由于低温超导微波谐振腔需要工作在液氦温区从而限制了它的应 用 :因为液氦非常昂贵 ,并且液氦的保存设备复杂 ;在 1. 25 K 温度下的超流特性和极高的渗透性 ,对低温腔的 真空密封提出了非常严格的要求。国际上很多人在用不同的材料和方法来代替现在的纯铌微波谐振腔 ,如在 铜的表面溅射铌膜或在铜腔内表面溅射生成 Ni3 Ge 层。现在高温超导体技术的发展非常迅速 ,高温超导块材 的微波表面电阻也在不断降低 ,人们采用厚膜技术、薄膜以及改变块材的生成方法来提高腔体的 Q 值。用高 温超导材料做成的微波谐振腔与低温超导腔相比有它很明显的优势 :可以通过液氮冷却实现超导 ,成本低廉 , 对 3cm 及其以上频段 ,可用低温制冷机来实现制冷 ,制冷温度可以稳定在 20 K ,这远低于 1/ 2 超导转变温度 , 谐振腔的品质因数将比在液氮温区有明显的提高。 1 　超导体的微波表面电阻 　　随着温度的降低 , 电子平均自由程变长,当这个长度与高频场作用下的集肤层厚度相当时 ,金属表面电阻 不再随温度的下降而继续下降 ,它将趋于一个常数 ,这个现象称为反常集肤效应。由于这个效应的影响 ,纯铜 的微波表面电阻在低温时仅为常温下的 1/ 6 ,而超导铌的微波表面电阻在低温下要比铜低 6 个数量级 ,高温超 ( ) 7 8 8 导薄膜微波谐振腔在液氮温区 77 K 和 1. 5 GHz 频率时 Q