超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计.pdfVIP

维普资讯 ICApplications 超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计★ 北京大学信息科学技术学院微电子学系 胡启方 ~F：IB大学 电子科学与技术系 王玲 隧道加速受计的制备和检涌原理 米纳米加工国家重点实 典型隧道加速度计由隧尖、质量 验室使用MEMS标准 块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极 工艺加工出来的基于电 以及相应的反馈控制电路组成，其基 子隧道穿通的加速度计 本结构图和工作原理框图如图1所示； 以及封装形式。 图2显示的是北京大学微电子研究院微 根据量子力学的隧 道 原理 ， 图4隧道加速度计反馈控制电路设计基本思路 当隧道针 时候，有可检测的隧道电流产生，随着 尖和对电极原子间的间 距离的缩小，隧道电流呈指数增长，在 距小到纳米量级时，电 反馈控制电路的作用下，驱动电压下 极和针尖中的电子都有 降，静电驱动力相应下降，最终与弹性 一 定的几率跨越隧道势 回复力达到平衡 ，此时系统处在闭环 图1隧道式硅微机械加速度计结构示意图 垒到达对方的，在电极 工作状态下。当有正向外界加速度使 4号管一：麓邂电目鹋油奄赣 3鼍智一：瓣谴节霸删晦柽 则蜡 - ：麓赡瞳辩奄赣 偏压的作用下，电子从 隧道间距缩小时，静电力迅速减小而 隧道针尖到对电极的透 弹性力基本不变，产生向上的回复力， 射几率加强；同时，抑制 将质量块拉回平衡位置，从而使质量 了电子从电极到隧道针 块位置基本保持不动，当有负向外界 尖的电子透射几率。 加速度使隧道间距增大时，静电力朝 图2用半导体加工工艺制备的隧道加速度计和封装形式 起始状态下，隧尖 相反方向变化，同样使质量块位置基 与对应 电极之间距离远 本保持不动，通过反馈控制电压的大 大约为 1m，没有隧道 小即可读出外界加速度的大小。 电流产生，对系统加电 在隧道式加速度计中，有三个引 后，在驱动力的作用下， 出电极，反馈电极、偏置电极和隧道针 隧尖与对应 电极逐渐接 尖对电极，分别对应于反馈端、偏置电 近，此时驱动静电力和 压端和隧道电流输出端，反馈端和偏