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预退火气氛对BDT铁电薄膜性能的影响.pdf
预退火气氛对 BD T 铁电薄膜性能的影响
成传品 , 邓永和
(湖南工程学院 理学院 , 湖南 湘潭 4 11104)
摘要 : 介绍了溶胶 - 凝胶法制备掺 Dy 元素的Bi Ti O (Bi Dy Ti O , BD T) 薄膜的工艺过
4 3 12 34 06 3 12
程 , 并研究了不同预退火气氛对沉积在 Pt/ Ti/ SiO / Si 基片上的BD T 薄膜铁电性能的影响 。空
2
气中的预退火 , 薄膜中的 H , C 等有机成分分解不彻底 , 有部分残留在薄膜中; 而 O2 气氛下的
预退火 , 由于 O2 充足 , 薄膜中的有机成分可以完全分解 。退火过程中BD T 薄膜晶粒的生长和
取向可以受到残留的有机成分的影响 , 进而对 BD T 薄膜的铁 电性有较为显著的影响 。在外加
4 00 kV/ cm 的电场时 , 空气中预退火的BD T 薄膜的剩余极化 (2 Pr ) 值和矫顽场 ( Ec ) 分别为
2 2
μ μ
2637 C/ cm 和 1142 kV/ cm , 而 O 气氛下预退火的BD T 薄膜的2 P 和 E 分别为 3628 C/ cm
2 r c
和 1136 kV/ cm , 表明O2 气氛下预退火可显著提高BD T 薄膜的剩余极化值 , 改善其铁电性能。
关键词 : 溶胶 - 凝胶 ; BD T 薄膜 ; 预退火 ; 铁电性 ; 有机
中图分类号 : O4 84 . 4 文献标识码 : A 文章编号 : 167 1- 4776 (20 11) 0 1- 0037- 03
Effect of PreAnneal ing Atmosphere on
Properties of BD T Ferroelectric Fil ms
Cheng Chuanpin , Deng Yon ghe
(
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