Sn2薄膜的电学气敏特性O和光学气敏特性研究.pdfVIP

第 19卷 第 2期 化 学 传 感 器 V01．19，No．2 1999年 6月 CHEM ICAL SENSORS June．1999 SnO2薄膜的电学气敏特性 与光学气敏特性研究 C)f 。；z (杭 州 申子工 ————————————— l ，l t (杭州 电子工业学院 杭州 刘 俊 刁 ／， ]，， (广东惠州大学 惠州 516015) 摘要 用射频磁控反应溅射法制备 了SnO：薄膜-井分别测量薄膜在 乙醇气体 中的 电学气敏特性和光 学气戢特性 对实验结果的分析表明 ，SnO 薄膜对 乙醇气体有较强 白勺电学气敏教应和光学气敏效应 。利用 SnO 薄膜 的电学气敏特性适 台检测较低浓度 乙醇气体-而刹用 SnOz薄膜 的光学气敏特 性 能检测较 高维 舭 。 关键词SnOz些i 敏敏电兰鲎垄垄兰壁丝乞均与 圣，，一{Ll=锡七》 一 、 引 言 sn0 具有金红石型的晶体结构 ，禁带宽度约为 3．6eV 由于 sn的电子亲台力不太强 ， 晶态 SnO 都 具有 氧空位 ，接触还 原性气体后 ，SnO 阻值 发生变化 ．利用 SnO!这种 电学气 敏 性能制成的传感器 已在实际中得到应用。另一方面 ，由于多晶SnO 薄膜具有 良好 的透光导 电性 能 ，作为透光导 电电极也颇受重视。l988年 ，郑顺旋和意大利G．Ghiotti等人发现 ，SnO 接触还原性气体后 ，光透射率 与反射率随周 围气体性质及浓度 的变化而变化 ．即所谓光学气 敏性能 若能将 Sn0 薄膜 的电学气敏性 能与光学气敏性 能相结台 ，可望开发 出一种新 型的 敏感元件 奉文采用射频磁控反应溅射法制备 sno 薄膜 ，研究了薄膜的电学气敏特性与光 学气敏特性 。 二、实 验 用射频磁控反应溅射 法分别在玻璃 、Si基片上沉积 SnO：薄膜 。基本工艺参数 ；SnO 材 料溅射时 间 20rain，氢分压 与氧分压之 比为 4：1，背景气压 1～1．2×10 Pa．溅 射气压 1．5 ～ 2SPa，阳极 电压 700V，阳极 电流 0．8A，靶与 基片间距 55mm。溅射 过程 中适量掺 Ag，获 得掺杂 (Ag)SnO!薄膜 。生成的薄膜在 350C～4O0C温度下老化 2～2．5h，使成为多 晶SnO 超微粒薄膜 测量 SnO 薄膜 电学气敏特 性使 用的仪器有高 阻欧姆表 、直流稳压 电源及 自制 的带加 热、配气系统真空室 。测量 SnOz薄膜的光学气敏特性用 722型分光光度计。 2期 橱菁瞢等 Sr,O2薄膜 的电学气敏特性与光学气艋特性研究 三、实验结果与讨论 1、SnO 薄膜的电学气敏特性 气敏灵敏度 (S)，定义 为元件在清洁空气中的阻值 (Ra)与气氛 中阻值 (Rg)的比值。用静 制 ● 图 1 是敏 度一 温度 曲线 图 2 灵敏 度一坡 度 曲线 止体系外加热法测试薄膜对乙醇气体的敏感特性 。图 1给 出SnO 薄膜检测 乙醇 的灵敏度 一 温度 曲线 ，图 2给出SnO：薄膜检测 乙醇的灵敏度 一浓度 曲线 。 在清洁空气 中 SnO：薄膜 表面发生的氧吸 附过程通常是物理 吸附 ，在低 温下这种过程 进行得 很慢 以至无实用价值 ，因此需选择较高的工作温度 。物理吸附氧经过 一段时间 ，反应 成为化学吸 附氧离子 。一，化学 吸附氧离子 O一从 SnO!导带抽取 电子 ，薄膜的 电阻增加 。 当 SnO。暴