复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性的研究.pdfVIP

复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性研究幸 莨c，搬蛾圆瑞J噼j阢高鼎兰 (吉林太学电于-[程系、集成光f乜予国家重点联含实验室．长荐，i：加023) ● 摘要： 本文研究了复台钒铝酸干凝睃薄膜的湿敏}寺性。复合钒钼酸干凝睃薄膜的湿敏牲能 较复合钒醺好，而且其电阻随棺蝴的增加煎目孙，添加正硅酸乙酯(1_B∞)对拍鳗*瞢；育 观显的改进作用，含5州《m。s的潮溅随鞋滞网筹最小，同时器件的响应恢复较侠。 蝴啁：湿敏传感器复台钢，钼酸干凝胶薄膜懈 t 一、雕莓 在过Z-的十儿年曼高分子、陶瓷材料等在龌敏传感器中得到了广泛的研究和70t明。90】 湿敏传感器必须具有灵敏整高、响应恢复快、重复炷好及成本低等优良的特性。在所研究的 湿敏材料中，多孔陶瓷最能符台上述要求，但是陶瓷材料在麻}{j丁湿敏传感器的过程中也有 其缺点，例如在低温下电阻很犬，同时由于化学吸附水多而需要阶段性的加热清洗。叫 以离子电导率较高的感澄材料研制成的湿敏传感器，其灵虢壁高，晌夜恢复快，而且具 有长期稳定性。纠在最近的几年里，由于含承他合物广泛的应用，掀起了一股研究的热潮。 VA凝胶薄膜具有层状结构。其电导由离子电导和电子电导}喊，离子电导由水自鼢压(即 相对_i显度)决定，因此v琏水台物可能成为优良的湿敏材料。91 s 复台钒铒酸H-v。洳n。·m0，(ox≤3)的结构及电学性质与v热水台扬类‰ 同样可以作Z廊揭审捧4。“国内对其的研究尚未址嘏遵。 2．1材料合成 稠无机祷验_凝咐去制备V=』]：；i尊蜞。以V岛和№粉为起始物质，H8为反应潞秘。 将V船取l№粉溶于It趣中．通i勤日入删瓯将溶液的Pfi值控％口在2．0左右，得到深绿芭无沉 淀的静瓣骞骏，然后在100CF千噪：≮水lh后，得到№V。、M吼0∞·n}}p瞧《3)凝睃。 2．2元件静阼硬湿趣嗡寺性钡啦式 采刖旋涂法将凝胶涂覆于带有梳状电极的陶瓷衬底上。自然环境F干燥即得到湿敏元 件。 利用zL5智能Lcl{测量仪测试不同湿度F元件的电阻．漤9试电压i．OV，测试频率为IIQ{z， 测试温度为20℃(室温)。澳《试龆度分剐为11％、33％、54％、7珊、8卿i95％，湿度由翰1 盐提供。 ● 三、结果与讨论 3．1不同电极和不同材料的的敏感特性比较 ’同家自然}：坞e$#会椰l蜀断、台作项H瓷叻 293 RH∞ RHf％) 尊 图l不同屯极对材料敏感特性豹影响 图2 H,v吐。娜·nH扣和地U—M吗．O珈·胡∞ 的湿唰蛾 将眠搬艘Ⅲ·nH羽干凝胶涂覆在带育梳状金电极雨I银—钯屯极制成器件．图l比较 了它们的敏感}挚性。 从图l中可以看出，带有金电极的湿敏元P{镯堪特性较银—钯电极好，这表明金电极对 元件的湿敏性能有好的影响，可能是因为金对元件的感湿特性有催化作用。在以后的实验中， 宙瓠睬用金电极。