压力测量系统实时校准技术的研究.pdfVIP

压力测量系统实时：交准技术研究 浦甲臣 尹jb义 西北r业大学第三研究室4邮编710072) 摘要：本文介绍了压力测量系统实时校准的理论根据．安蹦皎准的实现以及校准技术的发展趋势。 关键词：电子扫描；实时校准；!K力传感器 引言 七十年代末美国压力系统公司，研制成功新一代的780B压力测蹙系统，该系统它采用每 个待测压力各自对应一只压力传感器，为r提高扫描速率，它采用电子扫描；为了降低成本， 该系统采用的是易于大量生产的硅压阻传感器：为了修正这种传感器的误差，提高测量精度， 它采用联机实时校准技术，从而使该洳骶系统实现_，多点、快速、商精度。 带有实时校准功能的电子扫描测压系统，一经问世就显示了优越性和生命力t它取代了原 有多点测压技术而迅速得到推广应并j，成蔓膨点压力测量的主流，代表了当时的先进技术水平。 通过校准技术能够提高压力传感器测量精度．这早已被人们所认识，但在技术上实现起来， 还是有很多难度的。为了提高我们国家的压力测量水平，我们在消化，吸收国外压力校准技术 基础上，也在不断地进行研究开发，从而达到列校准原理和校准技术有了比较深入掌握，为我 ffJ对多点压力测量的研制开发奠定了理论基础。 1饺准理论根据 匿1足：传感器响应特性的数学模型描述。由1二传感器材料往往有几种转换效应，尤其是大 部分传感器材料和工程材料具有温度效应；材料的特性随着时间而变化；还有结构上的缺陷等 等。使传感器普遍存在温度误差和长期稳定性的问题。闶此．传感器的特性方程只有经过修上E (误差补偿)后．才能达到f1．1)式的理想情7兕。 F(x)=kxtt) 其甲：x(t)…被测最 Y(t)，z(t)一币希望的敏撼量 n(t)——噪声 d(t)——时漂信号 对传感器的优化设计和选择合适的j艺技术，至少能消除一些误差。但若使精度进～步提 高必须用另外的补偿措施。如电子温度补偿，软什温度补偿，实时校准技术等。实时校准技术． 它是检定技术和补偿技术的综合，它能自动跟随温度和时间的变化，修正传感器本身的零点误 差、灵敏度误差、非线性误差，这样就可以有效地解决测量系统的温度误差和长期稳定性两大 难题。 1．1假如传感器没有迟滞和蠕变效应 则传感器的特性就可并i麦克劳林级数表示： 其中：f(x)——传感器输出量 x——传感器输入量 C。——传感器零点 ，，——灵敏度系数 C，……Cn——非线性系数 1 2假如传感器的非线性项比较小 刚(1．1)式可简化为(1．2)式，一个一元一一次方程所得到的拟合曲线就能满足拟台精度 要求。即： f(X)=c。4-glX+。2X2 (1．3) 到方程组： f(Xq)=co+C1Xn+Cf^： f(X1)==c，．+clx【+c，xi (14) f(Xz)=c。1一CIx：十c 2x； 于是由(14)式可解出 对传感器经三点压力校准后，将校准数据处理成系数，用(1．5)式计算待测压力。 P，一co+clV，+c：V，2 (1．5) 其中：C．一零读数 c、一灵敏度系数 c：一非线性系数 v．一Px时的电压输Ⅲ P。一待测的未知压力 119 『3提高传感器本身的精度 由(】5)式可知．采用实时校准直接修正了传感器本身的零点误差，灵敏度和非线性误 最。如粜采用校准的点数越多，mⅡ捌台精度就越高，1f线性