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微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管.pdf
2002 年第 60 卷 化 学 学 报 Vol . 60 , 2002
第 5 期 , 957～960 ACTA CHIMICA SINICA No . 5 , 957～960
·研 究 简 报 ·
微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管
, a , b b c
王升高 汪建华 秦 勇
( a 中国科学院等离子体物理研究所 合肥 230031)
( b 武汉化工学院材料科学与工程系 武汉 430073)
( c 中国科学院固体物理研究所 合肥 230031)
摘要 纳米碳管的低温合成是纳米碳管合成的一个重要研究方向. 在众多的合成方法中 ,化学气相沉积法 ,特别是
等离子体化学气相沉积法在纳米碳管的低温合成方面意义重大. 本研究利用溶胶 - 凝胶法结合等离子体还原 ,获得
了负载在 SiO2 上的纳米金属钴颗粒. 以甲烷为碳源 、氢气为载气 ,在纳米金属钴颗粒的催化作用下 ,利用微波等离
子体化学气相沉积法在低于 500 ℃的温度条件下合成了纯度较高的纳米碳管.
关键词 纳米碳管 ,微波等离子体化学气相沉积法 ,低温合成
Synthesis of Carbon Nanotubes by Microwave Plasma Chemical
Vapor Deposition at Low Temperature
WAN G , ShengGao , a , b WAN G , JianHua b Qin , Yongc
( a )
Institute of Plasma Physics , Chinese Academy of Sciences , Hef ei 230031
( b Dep artment of M aterials Science and Engineering , Wuhan Institute of Chemical Technology , Wuhan 430073)
( c )
Institute of Solid States Physics , Chinese Academy of Sciences , Hef ei 230031
Abstract Carbon nanotubes are novel materials with unique electrical and mechanical properties. Most of the
natures of carbon nanotubes depend
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