具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型.pdfVIP

　第 16 卷 　第 8 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ,No. 8 　 　2004 年 8 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Aug. ,2004 　 文章编号 : (2004) 具有空心阴极放电特征的射频放电 的两电子组模型 1 2 余建华 , 　赖建军 ( 1. 深圳大学 工程技术学院, 广东 深圳 518060 ; 　2 . 华中科技大学 光电子工程系 , 湖北 武汉 430074) α γ 　　摘 　要 : 　运用两电子组模型 ,考虑了射频放电中的 过程和 过程两种电离机制 ,并结合流体模型 ,研究 了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速率分布等特性。理 论研究表明 ,γ电离过程在高电流模式运行中起主要作用,并证实了此类放电中存在显著的电子摆钟效应 ,具 有类似于空心阴极放电的特征。 　　关键词 : 　射频放电 ; 　空心阴极放电 ; 　两电子组模型 　　中图分类号 : 　O53 　　　　文献标识码 : 　A ( ) 　　最近几年 ,容性耦合射频放电 CCRF 方式被成功地用于激励金属离子激光器 ,成为在紫外波段获得连续 激光最有前途的激励方式之一[1 ,3 ] 。CCRF 能够用于激励离子激光器 ,是因为 CCRF 放电存在两种不同的运行 α γ [4 ] 模式 ,即低电流下的 模式和高电流下的 模式 。高电流模式类似于空心阴极放电 ,不仅具有可观的高能电 子 ,而且缓冲气体离子密度大 ,放电电流大 ,适合于激励离子激光器[2 ] 。 (α ) 　　射频放电存在的以上两种电离机制分别对应于两种电子群 , 即受振荡电场影响的体电子 电子 和离子 (γ ) 轰击电极而发射的高能电子即快电子 电子 。理论上发展了多种模型来模拟射频放电这两种电离过程以及 不同模式的转变过程 ,如分析模型、自洽流体模型 ,Monte Carlo 模型、PICMC 组合模型等 ,但是大多数模型针 对特殊用途的低气压射频放电[5 ,6 ] , 中等气压下的射频模型较少。J . P. Boeuf 等[9 ] 用两电子组模型研究了氦射 ( ) α γ 频放电 气压 400Pa , 电极间距0. 03m 中 和 模式的转变过程。他们把从射频电极发射的电子以及电离过 ( ) 程中产生的具有足够能量 高于第一激发能 的电子作为单能电子束 ,而在等离子体中由于电离或碰撞损失能 量的低能电子作为与局域电场相平衡的流体对待。根据理论模拟结果可以看到存在两个不同的区域 ,对应于 低电流和高电流运行模式。其模拟结果与实验的观察能够吻合得较好。A. Bogaerts 等[8 ] 利用 Monte Carlo 和 流体组合模型研究了应用于分析频谱领域的中等气压条件下的射频放电。这些模型虽然涉及到了 γ过程 ,但 是由于电极间距较大或电极非对称 ,没有出现类似于空心阴极放电的一些特性。 　　我们在以前模拟