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压电执行器及其在高响应液压控制阀上的应用 摘要：利用某些晶体材料的逆压电特性和现代制造技术制造的压电执行器(电—机械位移转换器)，可具有小型、 强力、高响应的特点。本文从小型，高响应液压控制阀的角度，对压电材料及压电执行器的特性及在液压控制 阀上的应用现状作一简单介绍。 关键词：压电执行器 液压控制阀 高响应 液压伺服系统的响应性能主要取决于控制阀的响应速度。提高控制阀的响应一直是人们努力追求的目标。 近年来，国外利用某些晶体材料的压电效应来研制高响应电液阀，并取得一些进展。本文就这方面情况做些介 绍。 1 压电执行器 (1) 压电材料的特性 压电材料是一种晶体材料。其特点是当其受外力而产生变形时，会由于内部极化而在表面上产生电荷，日 常的煤气灶点火装置就是利用了这个原理。反过来，如果在压电材料的极化方向上施加一定强度的电场，则会 引起材料的机械变形。去掉电场后又能恢复到原状态。压电驱动式电液阀就是利用了压电材料的这个特性(称为 电致伸缩效应或逆压电效应)。 用于制造电液控制阀的压电材料可分为两大类：一类为压电陶瓷，其中以PZT(Pb(Zr,Ti)Q3)系列最为常见， 特点是导电率低，允许工作温度条件好(＜120～200℃)，常被用于数字阀的高速开、关驱动；另一类是电压变 材料，较常见的如PMN(Pb(Mg,Nb)O3)，其特点是材料变形与所受电压的二次方成比例，且滞环较小，用于滑阀 的比例、伺服驱动。 (2) 压电执行器的结构 一般压电材料的应变为10-3左右。因此，如果直接利用一个高为20mm的压电晶体的应变，其变形仅为20μm， 相对于实际液压阀所要求的阀芯位移来说太小。因此，需要将其应变放大，目前常采用如下几种措施。 ①多层晶片型。如果采用单层较厚的晶片来产生所需的应变(变形)，将要求在晶片两极施加很高的电压(如 1000V以上)。而多层晶片型是将单个晶片做得很薄，然后各片分别加电压，最后叠加起来。如图1所示，这样 便可以利用较小的电压(一般在150V以下)获得较大的叠加变形。 图1 多层晶片型压电执行器 ②双晶片型。双晶片型的基本结构是将两块长度方向伸缩变形的压电晶片粘贴在一块弹性板上，通电压后， 两块晶片一块伸长，另一块缩短，从而造成整体的弯曲(见图2)。这种型式制作比较容易，变位扩大率也较高(变 位可达数百μm)，是一种较常用的型式。缺点是因为利用的是弯曲变形，响应速度较慢，产生的力也不大。 图2 双晶片型压电执行器 ③杠杆放大型。这是一种最简单原始的方案。如图3所示，其原理是通过一个杠杆将一压电晶体的变形予以 放大。当然，由于杠杆支点变形的影响，杠杆端点的位移不会象看上去的那么大。另一方面，利用压电晶体制 造液控阀的一个目的是体积小型化，而杠杆放大型显然会导致结构尺寸大，是一个不利因素。其它还有一些变 形放大方法，由于应用较少，本文未予一一列举。 图3 杠杆放大型压电执行器 2 几则利用压电材料开发高响应液控阀的研究实例 (1)利用双晶片型压电材料的高响应伺服阀 图4为一种利用PMN双晶片型压电材料驱动的伺服阀。在该阀中，喷嘴挡板本身是双晶片型压电材料，通过 给其施加不同的电压而产生相应的变形，被控制的滑阀是普通的伺服阀阀芯。此外，该阀中的档板不再与滑阀 相连结而起反馈弹簧作用，而是在阀上另设位移传感器进行反馈。据报道［1］，对一个4mm直径的滑阀进行控 制，阀的频响可达1kHz以上。 1、双晶片型压电材料档板 2、喷嘴口 3、滑阀? 4、固定节流口 5、滑阀位置传感器 图4 利用双晶片型压电材料的高响应伺服阀 (2) 利用双晶片型压电材料的高速开关阀 日本名古屋大学利用PZT双晶片型压电材料，研制了一种响应频率较高流量较大的高速开关阀，图5为其工 作原理图［2］。如图所示，该阀通过控制一块双晶片型压电材料档板来关闭或打开不同的喷嘴以驱动一个锥阀 运动。实际结果表明，该阀响应频率可达200Hz，在20MPa系统油压时输出流量达9.24L/min。其最大响应频率 为同规格普通高速开关电磁阀最大响应频率的2倍。