4 电容式传感器 WL.pptVIP

图4-19 差动式电容压力传感器 P1 P2 图4-21 电容式加速度传感器 图4-22 电容式料位传感器 图4-23 电容式振动位移传感器 图4-24 电容式振动位移传感器应用 电容式测厚 轧辊 工作极板 被测带材 转速测量 1 2 3 4 1 — 齿轮 2 — 定极 3 — 电容传感器 4 — 频率计 * * 4.1 工作原理及类型 电容式传感器将被测量的变化转换成电容的变化。 2.类型 变极距型(变间隙型） 变面积型 变介电常数型 电极板形状有平板形、圆筒形和球面形三种。 第4章 电容式传感器 1.工作原理 两个平行金属极板组成的电容器，不考虑边缘效应，其电容为 C= ?S/d ε―两个极板间介质的介电常数； S ―两个极板相对有效面积； d ―两个极板间的距离 + + + d S ? 变极距型电容传感器 变面积型电容传感器 变介电常数型电容传感器 4.2 电容传感器的灵敏度及非线性 变极距型的平板电容传感器的灵敏度 变面积型 变介电常数型 当极板间距有一个增量Δd 时，则传感器电容为： 假设极板间只有一种介质，其初始电容值为： 灵敏度k为： 为在较大的范围内使用变极距型传感器，可适当地增大初始极板间距 d0 ，以保证?d/d0不致过大，但会带来灵敏度下降的缺点，同时使电容传感器的初始电容值减小，寄生电容的干扰作用将增加。 当?d/d0 很小时才近似为线性关系→测量范围不应太大。 常采用差动式电容传感器，灵敏度提高一倍，非线性大为减小。 变面积型和变介电常数型电容传感器具有很好的线性。但该结论都是忽略了边缘效应得到的。实际上由于边缘效应，仍存在非线性问题，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。 4.3 电容式传感器的特点及等效电路 4.3.1 电容式传感器的特点 优点： ①温度稳定性好 ②结构简单、适应性强 ③动态响应好 ④可以实现非接触测量，具有平均效应 缺点： ①输出阻抗高，负载能力差 ②寄生电容影响大 ③输出特性非线性 4.3.2 电容式传感器的等效电路 4.4 电容式传感器的设计要点 4.4.1 保证绝缘材料的绝缘性能 必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度、湿度等误差，保证绝缘材料具有高的绝缘性能。 4.4.2 消除和减小边缘效应 等位环3和电极2等电位，使得电极2的边缘电力线平直，极间电场基本均匀，发散的边缘电场发生在等位环3的外周。 边缘效应使电容式传感器的灵敏度降低，产生非线性。 适当减小极间距→易产生击穿，限制测量范围 结构上增设等位环 4.4.3 消除和减小寄生电容的影响 寄生电容与传感器电容关联，影响传感器的灵敏度，而它的变化则为虚假信号，影响仪器的精度。 增加初始电容值 减小极间距，增加有效面积或长度 消除和减小寄生电容的方法 接地屏蔽圆筒形电容传感器 注意传感器的接地和屏蔽 将传感器与电子线路的前置级装在一个壳体内， 省去传感器至前置级的电缆。 “驱动电缆”技术电路 采用“驱动电缆”技术（“双层屏蔽等位传输”技术） “驱动电缆”。 使用运算放大器法 运算放大器法电路 整体屏蔽法 4.4.4 防止和减小外界干扰 屏蔽和接地。 增加初始电容值，降低容抗。 导线和导线要离得远，以减小导线间分布电容的静电感应。导线尽可能短，最好成直角排列，必须平行排列时可采用同轴屏蔽线。 尽可能一点接地，避免多点接地。地线要用粗的良导体或宽印制线。 尽量采用差动式电容传感电路，减小非线性误差，提高传感器灵敏度，减小寄生电容的影响和干扰。 4.5 电容式传感器的转换电路 电容式传感器把被测量转换成电容C0，需要将C0 进一步转换成电压、电流、频率等电量参数，便于信号的传输、放大、运算、处理、指示、记录、控制，并得到所需的测量结果或控制某些设备工作。 调制型转换电路（调频、调幅） 脉冲型转换电路 /电容充放电器（双T型、脉冲调宽型） 4.5.1 调制型转换电路 调频电路 调幅电路 1．交流激励法 图4-11 交流激励法基本原理图 图4-12 谐振曲线图 2. 交流电桥法 Cx C0 C0 C0 4.5.2 脉冲型电路 脉冲型转换电路的基本原理是利用电容的充放电特性。 图4-14 双T形充放电网络 双T形充放电网络 图4-15 双T形充放电网络等效电路 脉冲调宽型电路 图4-16 脉冲调宽型电路原理图 2 图4-17 各点电压波形图 4.6 电容式传感器应用举例 电容传感器可用来测量