第4章 电容式传感器-2.pptVIP

第三节 主要性能、特点和设计要点 一、主要性能 （一）静态灵敏度 1.变极距型（倒数关系） 即 灵敏度：随?而变，不是常数，? 减小，灵敏度增加。但要注意空气的击穿电压为3kV/mm，云母的击穿电压为103kV/mm。一般取25?m～1mm之内，?? ? ?????m ～零点几mm。 2.变面积型（线性关系） （二）非线性 气隙型的非线性与电感式相同。 为减小非线性取???0。为了改善非线性，可采用差动式，灵敏度也提高一倍。 如采用容抗XC=1/（?C）为输出，则为线性关系，不一定满足???0的要求。 变面积和介电常数型线性较好，因边缘效应，有一定的非线性。 二、特点（与电阻、电感式相比） 1.温度稳定性好； 2.结构简单，适应性强； 3.动态响应好； 4.可以实现非接触测量，并且具有平均效应； 5.高灵敏度和分辨率。 1.输出阻抗高，负载能力差 举一例：圆形平板电容d=40mm，?0=0.25mm，U=30V，f=400Hz，起始电容C=44.5pF，容抗Xc=11.1 ? 106? , Pc=U2?C=10-4 W，若?? = 0.1 ?0，则? C=4.45pF。 几何尺寸不宜做大，一般为几十到几百皮法，甚至只有几个皮法，因此输出阻抗高，尤其当使用音频电源时，可达106~ 108 ?，因而负载能力差，且易受外界干扰