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世纪90年代有较多的研究,而瞬时扰动的研究 点进行注入,缺点是很难使每条线的电流注入
开展较少。 量相同,由于电流测量本身困难很大,用这种方
2.1信号合成法 法,实验的注入电流、电压量测量难度大,因此
半导体集成电路瞬时扰动实验中信号合成 测量误差较大。
法实验连线图见图l。信号源为方波,注入源
可以为方波、双指数波,信号合成器是为了减少
两个源之间发生相互影响及保证合成信号稳
定,测量电路系统分别对图中各点进行电压电
电压探头
6电流探头
流监测。所有电路共地。
图2瞬态扰动实验电缆串扰法连线图
2.3局部辆合法
这种实验方法是在电流测量技术上演变来
的。试验原理图见图3。信号源和前面两种一
皇竺堡兰f_ij磊;- 样要求,利用干扰源对Rogowski线圈输入电流,
图1半导体集成电路瞬时扰动 在Rogowski线圈内产生脉冲电磁场,使穿过Ro.
实验信号合成法连线圈 gowski线圈的电缆受到局部耦合。
信号合成法中。信号源的幅度为实验件正
常工作信号幅值,信号源的频率可以在实验件
工作频率内动态调整。注入源要求幅度在10~
4000V范围内动态调整,脉宽在10~一10~s范
围内动态调整。关键在信号合成器.对其要求
是对两个源的输出匹配,信号源与注入干扰源 图3局部耦合法连线图
之间不发生相互影响,两路信号完全叠加不发 局部耦合法利用简单的实验装置,解决了
生衰减,叠加形成的波形稳定。这种电流注人 注入电流、电压很难测量的问题,同时可以使通
法优点在于对电源最大幅度要求不高,调整注 过Rogowski线圈的多路信号线受到相同的注入
入源和信号源,可较全面地对集成电路的抗 量。和电缆串扰法一样.实验中扰动的强度与
EMP性能进行实验,缺点是对信号合成器要求 注入源的幅度、前沿以及Rogowski线圈电磁转
高,不易研制,不能同时对多个点进行电流注 换系数有关,注入源的前沿不易改变,为了使信
入。 号脉宽和扰动脉宽比例可以调节,要求信号源
2.2电缆串扰法 的脉宽可以在实验件正常工作脉宽内任意调
串扰法实验连线图见图2。信号源为方 节。但是,由于实际注入到信号线上的注入电
波,注入源可以为方波、双指数波。与信号线平 流与注入源的输出电流相差量级,所以对注人
行的注入源回路对信号线进行电路耦合,又可 源的最大输出幅度要求较高,如果要满足扰动、
以看作串扰。测量电路系统分别对图中各点进 闭锁、击穿三种状态要求,注入源幅度要求在
行电压电流监测,所有电路共地。 0.2—200kV动态调整。
实验中扰动的强度与注入源的幅度、前沿
以及平行串扰线长度有关。注入源的前沿不易 3小结
改变.为了使信号脉宽和扰动脉宽比例可以调 这三种实验方法各有优缺点,有时在实验
节,所以要求信号源的脉宽可以在实验件正常 条件限制下。如没有较高的注入源,也可以考虑
工作脉宽内任意调节。注人源除了对前沿要求 降低要求,几种实验方法相结合。
外.为了满足实验各状态(扰动、闭锁、
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