QPQ技术的研究的最新进展.pdfVIP

QPQ技术研究的最新进展 李惠友，谢明强，吴少旭 (成都工具研究所，四川成都610051) 摘要：本文综合论述了成都工具研究所在QPQ技术研究方面取得的最新进展，其中包括在国内率先开发了深层QPQ技术，使 u 化合物层深度增加到30m以上；通过大量试验优化了影响QPQ处理抗蚀性的工艺参数和渗层组织；对长期以来国际上关于疏 松层是由氮原子分子化的的理论，首次利用扫描电镜得到了直接有力的证实。 关键词：QPQ技术；最新进展；抗蚀性；分子化理论 中图分类号：TGl56．8 TheIatest inthe of studyQPQtechnology progress LI Shao-Xu Hui—you，ⅪEM堍-qiallg，WU T00lResearch 61005 (Chengdu Illstitute，Chengdul，China) Abstract：This tllelatest in oft11e tool to pap_erh硒expounded QPQtecllIlology develop progrcss chengduresearch，including出e矗rst t11e t0 in incre弱ed alotof de印一laycrQPQtechllologyChin，makecoInpo∞dlayerd印t11 30肛labove；nrollgIltcs咖gQPQprocessing a虢ctconDsionresista】nce and the6rsttilneuse elec咖n optilnized par撇etersnitri幽唱layerorg锄izatio嬲；For scanning microscopy dimct top1．0、他me fbr in也eworldthacme madeofthehole (sem)gotpowe删c0砬medporos时-hole曲eorylong porositylay盯is up whichfo锄sthemoIecularizedof出e at咖够． by Ili协ogen resistance；Molecular №rwords：QPQtcclllloIogy；latestprogress；cormsion scalingtlleo巧 在国内QPQ技术由成都工具研究所率先开发成 不能采用这种技术【2】。 功，且大量生产已有20多年历史，现在用户还在不 加深化合物层深度最直接的方法就是提高渗 断增加。QPQ技术的用户涵盖汽车、摩托车、军工 氮的温度，把渗氮温度升高到600℃以上，但是在 等几十个行业，遍及全国20多个省，并且成功地用 600～700℃渗氮基本上是钢铁材料表面处理的工艺 于替代国外引进技术。QPQ技术的生产用盐还销往 空白区，在此区域的试验论文较少。 朝鲜、越南、缅甸、台湾等国家和地区。该技术是 英国学者R．T．Bell采用吸热式气氛加氨气的方法 u “九五”期间国家重点推广科技项目，曾获国家科 得到30m以上的化合物层【3】。德国学者R．Ho伍nan 技进步二等奖等多项奖励n】。