柔性+ZnO+基透明导电薄膜的研究进展.pdfVIP

第29卷 第5期 重庆理工大学学报（自然科学） 2015年5 月 Vol.29 No.5 JournalofChongqingUniversityofTechnology（NaturalScience） May2015  doi：10.3969/j.issn.1674-8425（z）.2015.05. 7 柔性ZnO基透明导电薄膜的研究进展 1，2 2 然龙 阮海波 王 ， （1重庆理工大学 材料科学与工程学院，重庆 4 54； 2 重庆文理学院新材料技术研究院，重庆 40216 ） 摘 要：在柔性衬底上制备的ZnO基透明导电薄膜具有优异的光电性能，已引起广泛关注 并成为当前的研究热点。综述了近年来国内外在柔性ZnO基透明导电薄膜方面的研究进展， 介绍了不同制备方法及工艺参数对柔性ZnO 透明导电薄膜结构及光电性能的影响，并对当前 存在的问题及未来工作进行了分析。 关 键 词：ZnO；柔性衬底；透明导电薄膜；制备方法 中图分类号：TB383.2 文献标识码：A 文章编号：1674-8425（2015）05- 33-08 ProgressofZnO-BasedTransParentConduCtiveFilms DePositedonFlexibleSubstrate 1，2 2 WANGRan-long ，RUANHai-bo （1.CollegeofMaterialsScienceEngineering，ChongqingUniversityofTechnology， Chongqing4 54，China；2.ResearchInstituteforNewMaterialsTechnology， ChongqingUniversityofArtsandSciences，Chongqing40216 ，China） AbstraCt：ZnOthinfilmsdepositedonflexiblesubstratebecomeafocusresearchowingtotheirout- standingelectricalandopticalproperties. ElectricalandopticalperformancesofflexibleZnO-based thinfilmspreparedbydifferentfabricatemethodsandvariousprocessingparametersinrecentyears werereviewed. Atthesametime，theexistingproblemsfortheflexibleZnO-basedthinfilmsandthe futureworkswerealsodiscussed. KeYwords：ZnO；flexiblesubstrate；transparentconductivefilms；preparationtechniques 透明导电材料是一类对可见光具有高透光 应用。自2 世纪8 年代以来，人们开始关注ZnO 率，同时又具有高导电率的特殊材料。由于其特 薄膜。相比氧化铟锡（ITO）而言，ZnO具有原材料 有的光电性能，透明导电材料在电子信息技术、光 廉价、无毒、沉积温度低等优点，并且在 H2 等离子 电技术、新能源技术以及国防技术中具有广泛的