激光微区烧蚀典型工程材料的机理的研究.pdfVIP

第29卷 增刊 中 国 激 光 Vol.A29,Supp 2002年 6月 CHINESEJOURNALOF June,2002 文章编号:0258-7025(2002)Supplement-0555-03 激光微区烧蚀典型工程材料的机理研究 9A雁‘B.Ozygus2H.Weber2 华中科技大学激光技术国家重点实验室，激光加工国家工程研究中心，武汉430074 OpticalInstitute,DepartmeniofPhysics,TechnicalUniversity,BerlinBerlin,Germany 摘要 研究了LC〕抽运YAG激光烧蚀W,Ta,Nb,Fe等金属和单晶硅、金刚石等材料的速率与机 理，结果表明材料的熔点、沸点、导热性、晶体结构等参数对激光烧蚀速率影响很大。对激光烧蚀的 物理模型进行了初步分析。 关键词 YAG激光，微区烧蚀，烧蚀速率 巾闻会水县 TN24Q 寺徽坛识码 A ParametersandMechanismsofLaserAblationTypicalEngineeringMaterials ZENGMao-yon`B.OzygusH.Weber2 N.ational坐Laboratoryof吵Tshnoiagy,，Huarh竺UnizrrsityofSa鳄nd卿吻，Wuhan4300当 t刀txcaf扭克U“份,Ll少Jrtment叮 Yy尹cs,L}nnwalUn- 仁.} i[n,r3Crnn,t.ermany / AbstractTheablationratesandmechanismsoftypicalengineeringmaterialssuchasNi,W,Ta,Cu,Sianddiamond切 diodepumpedYAGlaserwereanalyzed.Itwasfoundthatalotoffactorssuchasthemeltingpoint,evapomtionpoint, thermalocnductiviytandcrystalstructurehaveabigeffectontheabalationrates.Inalmostallthecases,thematerialsare heateduptomeltingpointandtheevaporationisthemainmechanismforlaserablation. Keywords YAGlaser,laserablation,ablationrates I 引 言 230mW和360mW,激光重复频率为25000Hz, 脉宽为5ns，光斑直径约为巧Pm。用于加工的材 LD抽运YAG激光器因为体积小、抽运效率 料包括典型金属材料Cu,W,Ta,Nb,Ti,In,Al,Cu- 高、光束质量好，在激光加工领域特别是精密、微细 Zn合金等和典型非金属材料如单晶硅、金刚石等。 加工领域中正得到越来越广泛的应用。例如，采用 激光烧蚀区域的面积为400ftmx125Imo LI〕抽运YA(〕激光器对许多种金属材料、陶瓷材 实验方案分为两类，一是相同激光辐照时间下， 料、高分子材料进行切割、焊接、打标等加工，已被成 不同激光功率对各种材料烧蚀速率的影响规律;二 功应用于工业生产中。激光加工技术的重要特点之 是相同激光功率下，激光烧蚀速率与时间的关系。 一是可以完成超硬、超脆或者超软工程材料的加工， 烧蚀实验完成后，用带有刻度尺的光学显微镜在高 有关的工程技术人员也进行了许多的前期研究与开 放大倍数下测试烧蚀前后平面与底面的聚焦点尺寸 发工作，但迄今为止仍然缺乏有关激光加工许多典 变化来判定激光烧蚀的平均深度 测〔定精度为1