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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文 ( 主题：先进太阳电池: 新概念、新材料和新结构 （纳米太阳电池、有机太阳电池、染料敏化太阳电池等）) 纳米结构太阳能电池减反射薄膜的仿真研究 纳米结构太阳能电池减反射薄膜的仿真研究 纳米结构太阳能电池减反射薄膜的仿真研究纳米结构太阳能电池减反射薄膜的仿真研究 徐伟,徐伟,娄朝刚娄朝刚,,张继鹏张继鹏 徐伟徐伟,,娄朝刚娄朝刚,,张继鹏张继鹏 （东南大学显示技术研究中心 南京 210096） 摘要：摘要：研究发现，纳米结构的减反射薄膜具有良好的减反射性能。为了深入认识此类薄膜结构的性能， 摘要摘要：： 本文采用严格耦合波理论（RCWA）计算了几种典型结构的反射率。在仿真计算中，以硅作为衬底， 建立的模型包括单层膜、纳米柱（直柱、斜柱）薄膜和金字塔薄膜结构。比较了不同结构的反射率 结果，并进行了分析讨论。希望通过这个工作，能够对优化薄膜的设计起到理论指导作用，实现更 低的反射率。 关键词：关键词：减反射薄膜 ； 纳米结构； 金字塔 关键词关键词：： 1 引言1 引言 1 1 引言引言 为一个单层膜, 可求出多层膜系的等效菲涅耳系数, 随着化石能源的逐渐消耗，世界各国将目光转 从而求出反射率。 向了新能源的开发和利用。在新能源中，太阳能以 传统的减反射膜多是单层膜，双层膜或三层膜系 高效，环保，可持续等诸多优点成为发展新能源的 模型为基础的多层膜系结构，但是由于其所用薄膜材 焦点。提高太阳电池效率的一个主要途径是通过增加 光的吸收来实现，而增加光的吸收主要通过在电池表 料折射率不能随意选择，使得减反射效果难以获得显 [1] [2] 面制备减反射膜来实现 。 著的提高 。最新研究发现，纳米结构的薄膜能够在 传统的单层减反射膜是利用上下两个界面处光 较宽的光谱范围内有效的降低光的反射，增加了光 存在相位差导致的干涉相消来实现减反射的作用， 的透过率[14-17] 。为了更深入认识此类薄膜结构的性 如图 1 所示。 能，本文采用严格耦合波理论[4-9]和传输矩阵方法 [10-13]对几种纳米减反射结构进行了研究，并比较了 各自的减反射效果。希望能够对优化减反射薄膜的 设计起到理论指导的作用。 2 仿真 仿真结果结果及其及其讨论分析讨论分析 仿真仿真结果结果及其及其讨论分析讨论分析 2.1 裸硅 裸硅 裸硅裸硅 在未镀有减反射薄膜的情况下，裸硅表面对太阳 图 1 光在单层薄膜中的多次反射示意图 光的反射是比较高的，实验室测得的裸硅的平均反 射率大致在 35%-37%左右[2]。为了验证所作计算的 单层减反