致命化学品氢氧化四甲基铵之危害预防与紧急处置.pdfVIP

2014 年中毒与应急救援论坛论文集 ·3 · 致命化学品氢氧化四甲基铵之危害预防与紧急处置 1 1，2 1，2 3 1 4 岩正杰 ，陈俊杰 ，陈永福 ，洪东荣 ，刘宏信 ，张振平 1.中山医学大学职业安全卫生学系 ，中国台湾 台中；2. 中山医学大学附设医院职业医学科，中国台湾 台中； 3.中国医药大学附设医院毒物科，中国台湾 台中；4. 台湾长荣大学职业安全卫生学系 ，中国台湾 台南 摘要：氢氧化四甲基铵（TMAH ）在半导体与光电等电子高科技产业制程中，作为显影剂或除污清洁而大量使用。 但是 2003 年及 2007 年在台湾发生因 TMAH 喷溅 2 起之重大职灾案例，死亡人数共 3 人，而 2011 年在韩 国亦造成 1 人死亡 。事故引 起各界对 TMAH 溶液化学品危害预防的重视 ，并积极探讨 中毒急救方法。 本研究针对 TMAH 之理化特性与毒性作用方式， 透过动物实验模式验证可推展至现场应用之危害预防与非侵入式之紧急处理模式， 避免 因意外碰触到高剂量 TMAH 而导 致劳工中毒甚至死亡 。 结果显示皮肤较大面积与 TMAH 接触时，会在 15~30 ｍｉｎ 内产生急性中毒 ，甚至呼吸停止死亡 。 故 针对 TMAH 中毒患者 ，院前急救处理原则为迅速并加强除污冲洗 ，减少毒性物质吸收和皮肤黏膜灼伤。 动物试验研究显示 在短时间内尽速且正确地以大量清水冲洗除污将有助于缓解毒性效应。 若使用以 N-acetyl-cysteine （NAC ）乙酰基半胱胺 榖胱甘肽溶液以体外涂抹并搭配清水冲洗暴露区域 ，亦可显著而有效地降低 TMAH 经皮肤吸收之 酸及 glutathione （GSH ） 浓度，提高动物存活时间与存活率。 建议在 TMAH 危害预防工作中，首先建立危害控制与工程管理，包括为防止 TMAH 泄 漏意外的发生， 系统外的所有 阀件及管件应配有耐蚀性箱体作二重防漏保护或双套管设计 ； 系统内部及配管连接点设置 Leak Sensor ，测知漏液可紧急停止系统。 在行政管理层次 ，则须建立标准作业程序 ，劳工从事 TMAH 处置作业时应制订操 作设备之 自动检查计划 ，依风险管理分级，选配适当之个人防护用具 。 １ 前言 而 2011 年在韩 国亦造成 1 人死亡而引起事业单位对 氢氧化四甲基铵（Tetramethylammonium hydroxide ， TMAH 溶液化学品事故的重视 。 截至 2010 年，台湾地 TMAH ）在半导体与光电等电子高科技产业制程中，被 区职业暴露氢氧化四甲基铵引发中毒案例共 13 人， 大量使用为显影剂或除污清洁使用， 在原料储存或管 其造成之健康效应包括化学性灼伤，皮肤出疹 、疼痛 ， 线输送时多为 25% 液态之形式， 并且主要稀释为 四肢虚弱无力 ，呼吸困难、呼吸衰竭、虚弱 ，唾液分泌 2.38%或更低之浓度使用于机台制程中， 台湾地区每 多， 白血球增多，高血糖 ，昏迷，休克 ，心跳停止等（Lin 个月之使用量超过 2000 ｔ 。 近年来，因为高科技产业废 et al. ， 2010 ）。 水中之四甲基铵离子浓度偏高， 目前亦已开始评估或 临床上 TMAH 中毒案例观察显示 ，伤者在皮肤暴 试行 TMAH 回收制程，以增加资源回收利用并降低对 露后逐渐丧失意识 ，呼吸心跳停止 ，经急救后仍于短时 环境之冲击，但废液回收与纯化 TMAH 也将使劳工增 间内死亡 。 检视 TMAH 的分子结构与相关参考资料， 加暴露之机会。 T