Ｘ射线象增强管的新进展.pdfVIP

2器件的工作原理、结构及特点 姒姒器件是一种真空二眭电器件，结构如圈i所示，光信号透过输入光窗入射至光窗 ■ 内表面的光电阴极，产生的光电子经微通道板组件倍增后可形成E权子云．并由阵列阳极 收集．按一定的编码方式，由=维编码电极将获取的信号输出。 该器件采用了具有高紫外辐射灵敏度的碲铷作为光电阴极材料，石英玻璃作为输入 光窗材料，高增益的Z型(即三块)微通道板组件作为电子倍增器及新颖的叠合式阵：9《阳 极，并使微通道板组件与：电电阴极、阳极问间厦都小于1M．因而器件不但探测灵敏度 高、电流增益高，还具有很高的时间和空间分辨能力。 3阳极结构及特点 l_L，l= 寿 阳极是MAMA器件中最关键的部分，可体现该器 件的新颗独特之处． 由用作信号接收的阵列阳极和 图2阳极结构 用作信号输出的阳极头两部分组成。 阵列阳极是器件具有高空同分辩率及成像功能的关键．阵列阳极采用三层叠合式结构， 即金属膜一介质膜一金属膜．金属膜选择了真空性能、导电性能好，耐高温冲击的金 ● 属或合金材料，如Au，镶铬等．介质膜用于隅离上下层信号电极，要求其绝缘能：n强． 可采用Si0：等材料。 选择精细一精细型结构的电极编码方式来进行信号的输出。这种结构不仅可以大大减 少用于信号输出的电极数量，简化阳极头制作工艺，同时也捧除了信号判别的多义性、 电容不平衡及电感藕台等缺陷。 阵列阳极的制作难度很大．这种阳极结构面积 H 大、像素多、线条细，最细的线条宽仅为40m，长 却有15H左右。工艺非常复杂。如图3所示．因而 在多次光刻过程中，根容易引起钻蚀、断线及连线 等现象．为了提高阵列阳极制作质量，采取了以下 若干措施，取得了较好地效果：提高膜的蒸镀质量． 做到均匀、致密：改善工艺条件，提高净化标准： 改善掩膜版设计，提高光刻精度． 阳极头制作宙难也不小．在030u左右的阳极 面积上，要封接52根输出管针，并要实现既能便于 编码电撮引出，又得保证器件处于高真空密封状态， 难度确实非常大．在国外。阳极头制作一般采用瓷 封工艺．可在国内，就目前的技术水平而言，这种 结构用瓷封工艺还很难实现．我们采用了可伎一．玻 图4阳极外形照片 309 璃封接结构，如圈4所示，不但简化了制作工艺，实现了52根输出管针的密封引出，且 内端面布局均匀、整齐． ■ 4器件的性能 中国五十五所 日本滨松 阵列结构 叠舍式 分立式 阳极像素 128X128 4X4 阴极灵敏度(紫外) 18mA／■ 15血A／霄 5xi05(V-MCP) 电流增益 2X106(Z-MCP) 暗电流 0．5hA inA 脉冲上升时间 0．27ns 0．28ns 阴极有效面积 025∞ 中18mm 器件尺